三村・細畠研究室 — 東京大学先端科学技術研究センター　超精密製造科学分野 ／工学系研究科精密工学専攻　超精密加工・精密機械システム工学

背景

研究成果Publications, Patents, Awards, etc.

論文、発表、特許など

2025年度（2025年4月1日～2026年3月31日）

研究論文（査読あり）

解説記事

国際会議論文（査読あり）

国際会議発表

  1. J. Guo, S. Egawa, H. Motoyama, T. Hosobata, H. Mimura, " Atomic-Level Polishing of X-ray Mirrors using PMMA in Water.", XOPT2025 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2025 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2025), XOPTp-24, Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan, April 22-24 (2025)[Poster].
  2. L. Bai, S. Egawa, H. Motoyama, S. Egawa, J. Guo, T. Hosobata, H. Mimura, " Observation of End Milling Phenomena Using Synchrotron X-Ray High-Speed Imaging with a Compact Machining Center.", XOPT2025 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2025 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2025), XOPTp-29, Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan, April 22-24 (2025)[Poster].
  3. S. Mohri, K. Ogasawara, H. Motoyama, S. Egawa, G. Yamaguchi, J. Guo, T. Hosobata, H. Mimura, " Development of figure correction system based on thickness of Si for large Wolter mirror.", XOPT2025 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2025 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2025), XOPT3-04, Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan, April 22-24 (2025).
  4. K. Ogasawara, S. Egawa, H. Motoyama, G. Jianli1, T. Hosobata, H. Mimura, "Design of X-ray Nano-Focusing Mirrors Using Curved Crystal Optics.", XOPT2025 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2025 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2025), XOPTp-37, Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan, April 22-24 (2025)[Poster].
  5. K. Imasaka, N. Kanda, D. Dong, B. Xue, S. Egawa, T. Hosobata, M. Takeda, Y. Yamagata, E. Takahashi, “Sub-micrometer focusing of attosecond pulses for generating 10¹⁵ W/cm² soft X-ray field,” ALPS2025 (The 14th Advanced Lasers and Photon Sources), OPIC2025 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2025), Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan, April 21-25 (2025).
  6. Y. Takeo, S. Egawa, K. Yoshinaga, K. Sakurai, T. Tanaka, S. Owada, H. Mimura, M. Yabashi, T. Kimura, “Shot-by-shot analysis of spatially varying spectra in soft X-ray free-electron laser,” XOPT2025 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2025 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2025), Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan, April 22-24 (2025).
  7. K. Yoshinaga, J. T. O’Neal, S. Egawa, K. Sakurai, T. Shimamura, Y. Nakata, Y. Takeo, H. Kishimoto, Y. Senba, M. Shimura, M. Yabashi,H. Ohashi, T. Kimura, "Development of simple switchable sample positioning system for soft X-ray microscopy using achromatic total-reflection Wolter mirror,” XOPT2025 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2025 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2025), Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan, April 22-24 (2025).
  8. J. Guo, S. Egawa, H. Motoyama, T. Hosobata, H. Mimura, "Atomic-Level Polishing Method Using an Acrylic Polymer Plate and Water.", Optica Design and Fabrication Congress 2025, OM1B.4, Denver,Colorado USA, June 16-19 (2025).

国内会議発表

  1. 三村秀和, 「アクリル板と水のみによる光学素子材料の研磨技術の開発」, 2025年度第一回ニューガラスセミナー，日本ガラス工業センター　2025年6月26日　 [依頼講演]

特許出願

2024年度（2024年4月1日～2025年3月31日）

研究論文（査読あり）

  1. Satoru Egawa, Kai Sakurai, Yoko Takeo, Kyota Yoshinaga, Masashi Takei, Shigeki Owada, Gota Yamaguchi, Shunya Yokomae, Hidekazu Mimura, Yutaka Yamagata, Makina Yabashi, Mari Shimura, and Takashi Kimura, "Observation of mammalian living cells with femtosecond single pulse illumination generated by a soft X-ray free electron laser.", Optica Vol. 11, Issue 6, pp. 736-743(2024).
  2. 横前俊也，松澤雄介，郭建麗，三村秀和，コアシェル粒子スラリーの金属表面加工への適用―Ni面における加工特性評価―，砥粒加工学会誌，69巻2号，p. 92-97 (2025).
  3. J. Guo, S. Egawa, H. Motoyama, H. Mimura, “Study on chemical mechanism of processing silicon by PMMA in water,” J. Appl. Phys. 137(1), 015303 (2025).
  4. A. Ito, G. Yamaguchi, A. Mohri, J.Guo, H. Motoyama, S. Egawa, H. Mimura, “Prediction and Optimization of Thickness Distribution in the Electroforming Process for X-Ray Astronomical Telescopes,” International Journal of Electrical Maching No.30 p15-22 (2025).

解説記事

  1. 江川悟，本山央人，郭建麗，三村秀和，超精密回転体ミラーの作製と軟X線ナノイメージングへの展開，Optronics ，2024年6月，43巻6号，p.69-73(2024).
  2. 島村 勇徳，研究成果·トピックス：「高分解能な軟Ｘ線解析を可能にする世界初の顕微鏡を開発　最短2 mmの長さの超精密小型集光ミラーを作る」，SPring-8 News，公益財団法人高輝度光科学研究センター，2024年6月，No.116 p2-p4(2024).
  3. 島村勇徳, 三村秀和，解説：コンパクトな集光ミラー光学系で軟X線のナノ集光を実現, 光アライアンス，日本工業出版，2024年8月.
  4. 三村秀和，高精度X線ミラー技術の展望，ISOTOPE NEWS，2024年10月　No.795 p6-p9(2024).
  5. 江川悟，志村まり，木村隆志，“100 兆分の1 秒の一瞬で生きた細胞の姿を捉える軟X 線自由電子レーザー顕微鏡”，自動車技術79(1)，p.132-133 (2025)．

国際会議論文（査読あり）

  1. S. Mohri, S. Ito, S. Egawa, H. Motoyama, J. Guo, G. Yamaguchi, T. Kume, Y. Matsuzawa, H. Takano, Y. Kohmura, H. Mimura, "Development of figure correction system for Wolter mirror for x-ray telescopes " , Proc. SPIE 13150, 1315004 (2024).
  2. T. Kume, Y. Matsuzawa, Y. Imamura, K. Hiraguri, H. Motoyama, S. Egawa, H. Mimura, H. Hashizume, " Application of steeply-curved free-form x-ray mirror fabrication process to a high-precision plane surface." ,Proc. SPIE 13150, 1315002 (2024).

国際会議発表

  1. H. Motoyama, Y. Kudo, Sa. Egawa, G. Yamaguchi, S. Yamamoto, R. Kawashima, J. Guo, H. Yumoto, T. Koyama, H. Takano, Y. Hayashi, H. Ohashi,M. Yabashi,H. Mimura, "High-speed X-ray Imaging of Electrical Discharge Machining (EDM).", XOPT2024 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2024 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2024), XOPTp-12, Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan, April 23-25 (2024).
  2. S. Egawa, R. Kawashima, S. Yamamoto, H. Motoyama, G. Yamaguchi, Y. Kudo, J. Guo, H. Yumoto, T. Koyama, H. Takano, Y. Hayashi, H. Ohashi, M. Yabashi, H. Mimura, "4D-CT imaging of lathe drilling of steel workpieces using synchrotron X-rays at 100 keV.", XOPT2024 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2024 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2024), XOPTp-14, Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan, April 23-25 (2024).
  3. T. Shimamura, Y. Takeo, F. Moriya, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, K. Shimba, Y. Jimbo, H. Mimura, "Ultracompact Kirkpatrick-Baez mirror for forming 20-nm achromatic soft-X-ray nanoprobes.", XOPT2024 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2024 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2024), XOPT5-03, Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan, April 23-25 (2024).
  4. S. Mohri, S.Ito, H. Motoyama, S. Egawa, J.Guo, G.Yamaguchi, T. Kume, Y. Matsuzawa, H. Takano, Y. Kohmura, M. Yabashi, H. Mimura, "Development of high-precision electroformed Wolter mirror for X-ray telescope.", XOPT2024 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2024 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2024), XOPTp-03, Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan, April 23-25 (2024)[Poster].
  5. I. Mitsuishi, K. Sakuta, K. Ampuku, R. Fujii, Y. Yoshida, K. Okada, K. Yoshihira, T. Kano, N. Ishida, W. Kato, T. Onishi, Y. Inoue, K. Tamura, K. Miyata, N. Narukage, G. Yamaguchi, S. Ito, S. Mohri, T. Kume, Y. Matsuzawa, Y. Imamura, T. Saito, K. Hiraguri, H. Hashizume, H. Mimura, "Future prospects of high-resolution space X-ray optics with ground-based technologies.", XOPT2024 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2024 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2024), XOPT4-01, Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan, April 23-25 (2024).
  6. K. Ampuku, K. Sakuta, R. Fujii, Y. Yoshida, K. Okada, K. Yoshihira, T. Kano, N. Ishida, W. Kato, T. Onishi, Y. Inoue, K. Tamura, K. Miyata, N. Narukage, G. Yamaguchi, S. Ito, S. Mohri, T. Kume, Y. Matsuzawa, Y. Imamura, T. Saito, K. Hiraguri, H. Hashizume, H. Mimura, I. Mitsuishi, "Development of X-ray optics for the solar flare sounding rocket FOXSI-4: ground calibration.", XOPT2024 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2024 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2024), XOPTp4-02, Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan, April 23-25 (2024).
  7. R. Fujii, K. Sakuta, K. Ampuku, Y. Yoshida, T. Ito, K. Okada, K. Yoshihira, T. Kano, N. Ishida, Y. Inoue, K. Tamura, K. Miyata, N. Narukage, G. Yamaguchi, S. Ito, S. Mohri, T. Kume, Y. Matsuzawa, Y. Imamura, T. Saito, K. Hiraguri, H. Hashizume, H. Mimura, I. Mitsuishi, "Development of High-resolution Space X-ray Optics for the Solar Flare Sounding Rocket FOXSI-4: Vibration Test.", XOPT2024 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2024 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2024), XOPTp-08, Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan, April 23-25 (2024).
  8. Y. Yoshida, K. Sakuta, K. Ampuku, R. Fujii, K. Okada, K. Yoshihira, T. Kano, N. Ishida, W. Kato, Y. Inoue, K. Tamura, K. Miyata, N. Narukage, G. Yamaguchi, S. Ito, S. Mohri, T. Kume, Y. Matsuzawa, Y. Imamura, T. Saito, K. Hiraguri, H. Hashizume, H. Mimura, I. Mitsuishi, "Development of High-resolution Space X-ray Optics for the Solar Flare Sounding Rocket FOXSI-4: Ray-tracing Simulation.", XOPT2024 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2024 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2024), XOPTp-09, Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan, April 23-25 (2024).
  9. T. Shimamura, Ultracompact Kirkpatrick-Baez mirror for forming 20-nm achromatic soft-X-ray focus toward multimodal and multicolor nanoanalyses, NSLS-II Seminar hosted by Dr. Yong Chu (online), NSLS-II, NY, USA July 22 (2024). [Invited]
  10. S. Egawa, K.Sakurai, Y. Takeo, K. Yoshinaga, M. Takei, S. Owada, G.Yamaguchi, S. Yokomae, H. Mimura, Y.Yamagata, M. Yabashi, M.Shimura, T.Kimura, " Observation of mammalian living cells with femtosecond single pulse illumination generated by a soft X-ray free electron laser. " , XRM 2024(16th International Conference on X-Ray Microscopy), Lund, Sweden, August 12-16 (2024).
  11. T. Shimamura, Y. Takeo, F. Moriya, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, K. Shimba, Y. Jimbo, H. Mimura, “Ultracompact Kirkpatrick-Baez mirror for forming 20-nm achromatic soft-X-ray focus toward multimodal and multicolor analyses.”, XRM2024 (16th International Conference on X-Ray Microscopy), Lund University, Lund, Sweden, August 12–16（2024).
  12. S. Egawa,K. Sakurai, Y. Takeo, K. Yoshinaga, S. Owada, G. Yamaguchi, S. Yokomae, Y. Yamagata, M. Yabashi, T. Kimura, M. Shimura, "Development of a combined soft X-ray and visible light microscope for observation of biological cells" , SPIE Optical Engineering + Applications, San Diego, California, United States, August 18-22 (2024).
  13. K. Yoshinaga, Y. Takeo, T. Shimamura, S. Egawa, K. Sakurai, J. T. O’Neal, Y. Nakata, H Kishimoto, Y. Senba, H. Ohashi, T. Kimura, “Development of Soft X-ray Full-1 Field Microscopy for High-Speed Spectroscopic,” XRM 2024(16th International Conference on X-Ray Microscopy) , Lund, Sweden, August 12-16 (2024).
  14. K. Sakurai, Y. Takeo, K. Yoshinaga, J. T. O’Neal, T. Shimamura, Y. Nakata, S. Egawa, S. Takaramoto, K. Inoue, M. Shimura, T. Kimura, “Chemical-State Mapping of Mammalian Cell by Soft X-ray Spectro-Ptychography and Principal Component Analysis,” XRM 2024(16th International Conference on X-Ray Microscopy) , Lund, Sweden, August 12-16 (2024).
  15. S. Mohri, S. Ito, S. Egawa, H. Motoyama, J. Guo, G. Yamaguchi, T. Kume, Y. Matsuzawa, H. Takano, Y. Kohmura, H. Mimura, "Development of figure correction system for Wolter mirror for x-ray telescopes " , SPIE Optical Engineering + Applications, San Diego, California, United States, August 18-22 (2024).
  16. T. Kume, Y. Matsuzawa, Y. Imamura, K. Hiraguri, H. Motoyama, S. Egawa, H. Mimura, H. Hashizume, " Application of steeply-curved free-form x-ray mirror fabrication process to a high-precision plane surface." ,SPIE Optical Engineering + Applications, San Diego, California, United States, August 18-22 (2024).
  17. H. Mimura, "Advances in Electroformed Mirrors for X-ray Microscopy", 8th International Workshop on Metrology for X-ray Optics, Mirror Design and Fabrication, BESSY II Berlin, Germany, September 2-5 (2024). [Invited]
  18. H. Motoyama, S. Egawa, G. Yamaguchi, J. Guo, H. Yumoto, T. Koyama, H. Takano, Y. Hayashi, H. Ohashi, M. Yabashi, H. Mimura, "In-process X-ray observation of electrical discharge machining revealing electrode behavior inside metal workpiece." , ICPE2024 Technical Program, Tohoku University, Sendai, Japan, October 24-26 (2024).
  19. S. Egawa, H. Motoyama, G. Yamaguchi, J. Guo, H. Yumoto, T. Koyama, H. Takano, Y. Hayashi, H. Ohashi, M. Yabashi, H. Mimura, " High-speed X-ray imaging of grooving of steel workpieces using carbide end mills." , ICPE2024 Technical Program, Tohoku University, Sendai, Japan, October 24-26 (2024).
  20. J. Guo, S. Egawa, H. Motoyama, H. Mimura, " Atomic-Level Smoothing of Silicon Surfaces Using a PMMA Plate in Water: Understanding the Chemical Mechanism." , ICPE2024 Technical Program, Tohoku University, Sendai, Japan, October 24-26 (2024).

国内会議発表

  1. 三村秀和, 「アト秒光パルスのナノ集光に向けて」, 第20回AMO討論会，理化学研究所（和光）　2024年6月7日-8日　 [依頼講演]
  2. 三村秀和，「高精度X線ミラー製造技術－平面から3次元自由曲面形状まで－」，精密工学会知的ナノ計測専門委員会，東京大学本郷キャンパス，2024年6月14日　 [依頼講演].
  3. 本山央人，江川悟，郭建麗，三村秀和，「高湾曲表面における広視野白色干渉顕微計測を実現するための対物レンズ製作」，2024年度精密工学会秋季大会学術講演会，岡山大学 津島キャンパス，2024年9月4日-6日.（2024年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p.615）
  4. 小笠原健人，本山央人，毛利柊太郎，江川悟，郭建麗，三村秀和，「X線望遠鏡ミラーの 高精度3次元形状計 測装置の開発」，2024年度精密工学会秋季大会学術講演会，岡山大学 津島キャンパス，2024年9月4日-6日.（2024年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p.617）
  5. 今坂光太郎，神田夏輝，Dianhong Dong，Bing Xue，江川悟，細畠拓也，竹田真，山形豊，高橋栄治，「アト秒レーザー用極限集光光学系の開発」，第85回応用物理学会秋季学術講演会，朱鷺メッセ，2024年9月16日-9月20日．
  6. 三村秀和，「SPring-8における高速X線撮像による金属加工プロセスの可視化」，砥粒加工学会関西地区支部第3研究見学会，2024年9月27日　 [依頼講演].
  7. 高廣翼，本山央人，高芝亮太朗，江川悟，郭建麗，三村秀和，「高エネルギーX線を用いたWEDMにおけるワイヤー振動の可視化」，電気加工学会全国大会2024，イーグレひめじ 3階 あいめっせホール，2025年12月5日-6日.
  8. 三村秀和，「高精度形状計測に基づくＸ線ミラー製造技術」，精密工学会第441回講習会「精密測定機器開発の最前線-小坂研究所」，小坂研究所，2024年12月11日 [依頼講演].
  9. 島村勇徳，「多モード・多色ナノ解析に向けた，軟X線を最小20 nmに定点集光する小型ミラーの開発」，SPRUC軟X線合同研究会，関西学院大学東京丸の内，2024年12月21日 [招待公演].
  10. 小笠原健人，本⼭央⼈，⽑利柊太郎，江川悟，郭建麗，三村秀和，「X線望遠鏡ミラーの⾼精度３次元形状評価」，第38回日本放射工学会年会 ・放射光科学合同シンポジウム，つくば国際会議場，2025年1月10日-12日.
  11. 島村勇徳，竹尾陽子，森谷文香，木村隆志，志村まり，仙波泰徳，岸本煇，⼤橋治彦，榛葉健太，神保泰彦，三村秀和，「多モード・多色ナノ解析に向けた，色収差無しで軟X線を20 nm集光する小型ミラーの開発」，第38回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，つくば国際会議場，2025年1月10日-12日.
  12. 江川悟，「高速Ｘ線撮像による切削加工・放電加工プロセスの可視化」，第74回 精密工学会 超精密加工専門委員会 理研・東大連携による精密加工研究教育，大阪大学吹田キャンパス銀杏会館，2025年2月7日.
  13. 細畠拓也，「理研における中性子光学素子開発と東大における工学教育への展開」，第74回 精密工学会 超精密加工専門委員会 理研・東大連携による精密加工研究教育，大阪大学吹田キャンパス銀杏会館，2025年2月7日.
  14. 三村秀和，「理研・東大連携による次世代高精度ミラー製造技術の開発とモ ノづくり教育」，第74回 精密工学会 超精密加工専門委員会 理研・東大連携による精密加工研究教育，大阪大学吹田キャンパス銀杏会館，2025年2月7日.
  15. 毛利柊太郎，小笠原健人，本山央人，江川悟，山口豪太，郭建麗，細畠拓也，三村秀和，"太陽観察X線望遠鏡のための高精度加工・計測システムの開発"，2025年度精密工学会春季大会学術講演会，千葉工業大学津田沼キャンパス，2025年3月17日-19日，（2025年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.532-533）.
  16. 白楽天，江川悟，山口豪太，高廣翼，本山央人，細畠拓也，郭建麗，三村秀和，"小型マシニングセンターを用いたエンドミル加工現象の放射光X線高速撮像による観察"，2025年度精密工学会春季大会学術講演会，千葉工業大学津田沼キャンパス，2025年3月17日-19日，（2025年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.650-651）.
  17. 小笠原健人，江川悟，本山央人，郭建麗，細畠拓也，三村秀和，"湾曲結晶を用いたX線ナノ集光　理論的検討と作製手法の開発"，2025年度精密工学会春季大会学術講演会，千葉工業大学津田沼キャンパス，2025年3月17日-19日，（2025年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.523-524）.
  18. 細野朝子，郭建麗，江川悟，本山央人，三村秀和，細畠拓也，“ワーク軸回転を伴うダイヤモンドフライカットにおける微細表面性状“，2025年度精密工学会春季大会学術講演会，千葉工業大学津田沼キャンパス，2025年3月17日-19日，（2025年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.601）.
  19. 高廣翼，本山央人，高芝亮太郎，江川悟，郭建麗，山口豪太，三村秀和，"高エネルギーX線を用いたWEDMにおけるワイヤ振動の可視化"，2025年度精密工学会春季大会学術講演会，千葉工業大学津田沼キャンパス，2025年3月17日-19日，（2025年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.153-154）.
  20. 廣川敦也，郭建麗，江川悟，本山央人，三村秀和，細畠拓也，"ニッケルリンを用いた超精密切削工具の実現可能性に関する検討"，2025年度精密工学会春季大会学術講演会，千葉工業大学津田沼キャンパス，2025年3月17日-19日，（2025年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.602）.
  21. 嶋岡睦人，江川悟，毛利柊太郎，本山央人，郭建麗，細畠拓也，三村秀和，”力制御型有機砥粒加工システムの開発"，2025年度精密工学会春季大会学術講演会，千葉工業大学津田沼キャンパス，2025年3月17日-19日，（2025年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.534）.
  22. 中島悠日，郭建麗，江川悟，本山央人，三村秀和，細畠拓也，"背分力調整機構を備えたダイヤモンド切削実験装置の開発"，2025年度精密工学会春季大会学術講演会，千葉工業大学津田沼キャンパス，2025年3月17日-19日，（2025年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.600）.

特許出願

2023年度（2023年4月1日～2024年3月31日）

研究論文（査読あり）

  1. S. Egawa, Y. Matsuzawa, K. Hiraguri, H. Motoyama, G. Yamaguchi, S. Yokomae, Y. Takei, T. Kume, S. Owada, K. Tono, M. Yabashi, H. Hashizume, H. Mimura, "Figure correction of a Wolter mirror master mandrel by organic abrasive machining.", Rev. Sci. Instrum. 94, 053707 (2023).
  2. K. Mikami, M. Ishino, H. Motoyama, T.-H. Dinh, S. Yokomae, G. Yamaguchi, S. Egawa, K. Sakaue, H. Mimura, T. Higashiguchi, Y. Kubota, S. Owada, A. Iwasaki, Y. Inubushi, M. Nishikino, ”Sub-nanometer scale depth patterning on sapphire crystal by femtosecond soft x-ray laser pulse irradiation.”, Opt. Lett. 48, 5041 (2023).
  3. G. Yamaguchi, Y. Matsuzawa, T. Kume, Y. Imamura, H. Miyashita, A. Ito, K. Sakuta, K. Ampuku, R. Fujii, K. Hiraguri, H. Hashizume, I. Mitsuishi, H. Mimura, "Efficient and precise fabrication of Wolter type-I x-ray mirrors via nickel electroforming replication using quartz glass mandrels.", Rev. Sci. Instrum. 94, 124501 (2023).
  4. Y. Takeo, K. Sakurai, N. Furuya, K. Yoshinaga, T. Shimamura, S. Egawa, H. Kiuchi, H. Mimura, H. Ohashi, Y. Harada, M. Shimura, and T. Kimura, “Development of soft X-ray ptychography and fluorescence microscopy system using total-reflection wolter mirror and application to measurement of drug-treated mammalian cells,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 267, 147380 (2023).
  5. T. Shimamura, Y. Takeo, H. T. Kimura, F. Perrin, A. Vivo, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura, “Fabrication of ultrashort sub-meter-radius X-ray mirrors with figure correction based on dynamic stencil deposition, Rev. Sci. Instrum. 94, 043102 (2023).
  6. T. Shimamura, Y. Takeo, T. Kimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura, “Soft-X-ray nanobeams formed by aberration-reduced elliptical mirrors with large numerical aperture”, Opt. Express. 31 (23), 38132 (2023).
  7. T. Shimamura, Y. Takeo, F. Moriya, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, K. Shimba, Y. Jimbo, and H. Mimura, “Ultracompact mirror device for forming 20-nm soft-X-ray focus toward multimodal and multicolor nanoanalyses” Nat. Commun. 15, 665 (2024).

解説記事

  1. 本山央人，江川悟，郭建麗，三村秀和，超精密光学素子が支える軟X線FEL光学技術，砥粒加工学会誌，10号，67巻，523-526 (2023).
  2. 郭建麗, 三村秀和. "アクリル板と水による低コスト・低環境負荷なガラス研磨プロセスの開発." 光アライアンス/光アライアンス編集委員会 編 34(6), 25-28 (2023).
  3. 郭建麗, 三村秀和. "アクリル板と水による原子レベル平坦化加工法 (< 特集> 物理化学ナノ製造プロセスの最前線)." 日本機械学会誌 126(1259), 22-25 (2023).

国際会議論文（査読あり）

  1. S. Mohri, A. Ito, S. Ito, G. Yamaguchi, H. Mimura, "Development of deposition system for the inner surface of Wolter mirror for x-ray telescopes"，Proc. SPIE 12694, 1269407 (2023).
  2. S. Ito, A. Ito, S. Mohri, G. Yamaguchi, H. Mimura, "Development of an inner surface profile measurement system for precise electroformed Wolter mirrors for X-ray telescopes", Proc. SPIE 12695, 1269503 (2023).
  3. T. Kume, Y. Matsuzawa, T. Saito, K. Hiraguri, Y. Takeo, T. Kimura, H. Kishimoto, Y. Senba, H. Ohashi, H. Mimura, H. Hashizume, "Fabrication and surface evaluation of high-precision monolithic mirror with complex geometry for soft X-ray focusing", Proc. SPIE 12694, 1269408 (2023).
  4. S. Yokomae, Y. Matsuzawa, T. Kume, K. Hiraguri, H. Mimura, H. Hashizume, "Development of magnetron sputtering system for soft X-ray mirrors", Proc. SPIE 12694, 1269406 (2023).
  5. H. Motoyama, S. Egawa, G. Yamaguchi, S. Owada, T. Kimura, M. Yabashi, and H. Mimura "Two-stage soft x-ray focusing system developed at BL1 of SACLA", Proc. SPIE PC12694, PC1269408 (2023).
  6. H. Mimura, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, T. Kimura, Y. Senba, T. Tanaka, H. Ohashi, "Combining wave-optical and ray-tracing calculations in X-ray reflective optical systems", Proc. SPIE PC12697, PC1269702 (2023).

国際会議発表

  1. K. Sakurai, Y. Takeo, N. Furuya, K. Yoshinaga, S. Egawa, S.Takaramoto, K. Inoue, M. Shimura, T. Kimura, “Soft X-ray XAFS ptychography for chemical state analysis of mammalian cells, International Conference on X-ray Optics and Applications 2023, Yokohama, Japan, 18-20 April (2023).
  2. T. Shimamura, Y. Takeo, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura, “Ultracompact Kirkpatrick-Baez mirror for forming 20-nm achromatic soft-X-ray focus toward multimodal and multicolor nanoanalyses”， Gordon Research Conference: X-ray Science, Stonehill College, Boston, MA, USA, July 23 ‒ 28 (2023) [Poster].
  3. S. Mohri, A. Ito, S. Ito, G. Yamaguchi, H. Mimura, "Development of deposition system for the inner surface of Wolter mirror for x-ray telescopes." SPIE Optical Engineering + Applications, San Diego, California, United States, August 20-24 (2023).
  4. S. Ito, A. Ito, S. Mohri, G. Yamaguchi, H. Mimura, "Development of an inner surface profile measurement system for precise electroformed Wolter mirrors for X-ray telescopes", SPIE Optical Engineering + Applications, San Diego, California, United States, August 20-24 (2023).
  5. T. Kume, Y. Matsuzawa, T. Saito, K. Hiraguri, Y. Takeo, T. Kimura, H. Kishimoto, Y. Senba, H. Ohashi, H. Mimura, H. Hashizume, "Fabrication and surface evaluation of high-precision monolithic mirror with complex geometry for soft X-ray focusing", SPIE Optical Engineering + Applications, San Diego, California, United States, August 20-24 (2023).
  6. S. Yokomae, Y. Matsuzawa, T. Kume, K. Hiraguri, H. Mimura, H. Hashizume, "Development of magnetron sputtering system for soft X-ray mirrors", SPIE Optical Engineering + Applications, San Diego, California, United States, August 20-24 (2023).
  7. Y. Kudo, G. Yamaguchi, H. Yumoto, T. Koyama, H. Takano, Y. Hayashi, M. Yabashi, H. Ohashi, H. Mimura,"High-speed imaging of electrical discharge machining using 100 keV X-rays at SPring-8", SPIE Optical Engineering + Applications, San Diego, California, United States, August 20-24 (2023)(Poster).
  8. H. Motoyama, S. Egawa, G. Yamaguchi, S. Owada, T. Kimura, M. Yabashi, and H. Mimura "Two-stage soft x-ray focusing system developed at BL1 of SACLA", SPIE Optical Engineering + Applications, San Diego, California, United States, August 20-24 (2023).
  9. H. Mimura, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, T. Kimura, Y. Senba, T. Tanaka, H. Ohashi, "Combining wave-optical and ray-tracing calculations in X-ray reflective optical systems", SPIE Optical Engineering + Applications, San Diego, California, United States, August 20-24 (2023).
  10. *T. Shimamura, Y. Takeo, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura, “Multicolor chest-X-ray-like technology with atomic-scale resolution,” GYSS 2024 (Global Young Scientist Summit 2024), National University of Singapore, Singapore, January 8‒12 (2024).

国内会議発表

  1. 三村秀和，本山央人，江川悟，郭建麗，「高速 X 線撮像が拓く精密加工学」，第238回電気加工研究会，東京都立産業技術高等専門学校 品川キャンパス，2023年6月26日 (依頼講演).
  2. 三村秀和，「ナノ加工技術×次世代放射光」，東京大学シンクロトロン放射光連携研究機構・第１回シンポジウム 東大が導く次世代放射光サイエンス，弥生講堂一条ホール，2023年9月11日（依頼講演）.
  3. 三村秀和，「超精密加工が拓いたX線光学，高速X線撮像が拓く精密加工学 ー原子レベル超精密加工法とX線による加工現象解析ー」，第10回板橋オプトフォーラム，板橋区立グリーンホール，2023年10月5日（依頼講演）.
  4. T. Shimamura, Y. Takeo, F. Moriya, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimot, H. Ohashi, K. Shimba, Y. Jimbo, and H. Mimura," Ultracompact Kirkpatrick-Baez mirror for forming 20-nm achromatic soft-X-ray focus toward multimodal and multicolor nanoanalyses", P-18, 文科省・学際領域展開ハブ形成プログラム「マルチスケール量子－古典生命インターフェース研究コンソーシアム」キックオフシンポジウム, 東京大学物性研究所, 2023年11月1日-2日
  5. 本山央人，工藤悠佑，江川悟，山口豪太，三村秀和，「高速 X 線撮像による放電加工中の電極振動の可視化」，電気加工学会全国大会2023，東京農工大学，2023年11月30日-12月1日.
  6. 毛利 柊太郎，伊藤 駿佑，本山 央人，江川 悟，郭 建麗，山口 豪太，久米 健太，松澤 雄介，高野 秀和，香村 芳樹，矢橋 牧名，三村秀和，「高精度X線望遠鏡用電鋳ウォルターミラーの開発」，第37回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，アクリエひめじ，2024年1月10日-1月12日 (ポスター)．
  7. 三村秀和，「高エネルギーX線を用いた高速イメージングによる金属加工プロセスの革新 －伝統的加工技術における職人技からの脱却－」，第37回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，アクリエひめじ，2024年1月11日（企画講演).
  8. 櫻井快，竹尾陽子，吉永享太，Jordan T. O’Neal，島村勇徳，中田勇宇，江川悟，寳本俊輝，井上圭一，志村まり，木村隆志，「細胞の軟X線XAFSタイコグラフィ計測と 主成分分析によるスペクトル解析」，第37回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，アクリエひめじ，2024年1月10日-12日．
  9. 吉永享太，⽵尾陽⼦，櫻井快，Jordan Tyler OʼNeal，中⽥勇宇，島村勇徳，江川悟，仙波泰徳，⼤橋治彦，⽊村隆志，「マルチ開⼝回折格⼦を⽤いたシングルフレーム顕微分光イメージング技術の開発」，第37回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，アクリエひめじ，2024年1月10日-12日．
  10. 今坂光太郎，Dong Dianhong，Xue Bing，江川悟，細畠拓也，竹田真宏，山形豊，高橋栄治，「ギガワット級アト秒パルスのサブミクロン集光の実現」，レーザー学会学術講演会第４４回年次大会，日本科学未来館，2024年1月16日-19日．
  11. 三村秀和，「アクリル板と水だけでガラス表面とシリコン表面を超平坦化する技術」，一般社団法人日本オプトメカトロニクス協会，第3回光部品生産技術部会講演会，オンライン，2024年2月16日（依頼講演）.
  12. 島村勇徳, 森谷文香, 志村まり, 竹尾陽子, 木村隆志, 三村秀和 ,「 蛍光X線と透過X線を用いた， 試料形態再構成と信号補正を行うアルゴリズムの開発」，ISSP短期研究会「物質科学シミュレーションと先端実験のデータ連携」, P-15, 東京大学物性研究所, 2024年2月19日-20日.
  13. 三村秀和，「斜入射X線ミラー製造プロセスの開発」，理研シンポジウム：第11回「光量子工学研究」ー次世代の光量子工学に向けてー，弥化学研究所 和光事業所，2024年2月29日（招待講演）.
  14. 三村秀和，「アクリル板と水のみによる原子レベル平坦化加工法」，2024年度精密工学会春季大会学術講演会，東京大学本郷キャンパス, 2024年3月12日-2024年3月14日（2024年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.719.）（依頼講演） .
  15. 郭建麗，江川悟，本山央人，三村秀和，「アクリル板と水のみによる原子レベル平坦化加工に関する研究　―XPSとFTIRを用いた化学的加工メカニズムの実験的解明―」，2024年度精密工学会春季大会学術講演会，東京大学本郷キャンパス, 2024年3月12日-2024年3月14日, （2024年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.698-699.）.
  16. 伊藤駿佑，本山央人，毛利柊太郎，江川悟，山口豪太，三村秀和，「高精度Ｘ線望遠鏡ミラーの高精度形状評価に関する研究」，2024年度精密工学会春季大会学術講演会，東京大学本郷キャンパス, 2024年3月12日-2024年3月14日, （2024年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.428-429.）.
  17. 工藤悠佑，本山央人，山本祥大，川島涼輔，江川悟，山口豪太，三村秀和，「高エネルギーX線を用いた高速撮像による放電加工現象の観察」，2024年度精密工学会春季大会学術講演会，東京大学本郷キャンパス, 2024年3月12日-2024年3月14日, （2024年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.573-574.）.
  18. 山本祥大，江川悟，工藤悠祐，川島涼輔，本山央人，山口豪太，三村秀和，「高エネルギーX線を用いた高速撮像によるミーリング加工の観察」，2024年度精密工学会春季大会学術講演会，東京大学本郷キャンパス, 2024年3月12日-2024年3月14日, （2024年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.63-64.）.
  19. 毛利柊太郎，伊藤駿佑，江川悟，本山央人，山口豪太, 三村秀和，「X線望遠鏡用ウォルターミラーの高精度内面加工システムの開発」，2024年度精密工学会春季大会学術講演会，東京大学本郷キャンパス, 2024年3月12日-2024年3月14日, （2024年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.430-431.）.
  20. 川島涼輔，江川悟，山本祥大，工藤悠祐，本山央人，山口豪太，三村秀和，「高輝度高エネルギーＸ線によるドリル旋削加工の4D-CT観察」，2024年度精密工学会春季大会学術講演会，東京大学本郷キャンパス, 2024年3月12日-2024年3月14日, （2024年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.68-69.）.

特許出願

  1. 島村勇徳，橋爪寛和，三村秀和，反射型Ｘ線光学素子，該反射型Ｘ線光学素子を用いたＸ線集光システム，および該反射型Ｘ線光学素子の製造方法，特許7417027.

2022年度（2022年4月1日～2023年3月31日）

研究論文（査読あり）

  1. Takenori Shimamura, Yoko Takeo, Takashi Kimura, François Perrin, Amparo Vivo; Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, Hidekazu Mimura, “Fabrication of ultrashort sub-meter-radius x-ray mirrors using dynamic stencil deposition with figure correction”, Review of Scientific Instruments, 94, 043102 (2023).
  2. H. Motoyama, A. Iwasaki, H. Mimura, and K. Yamanouchi, “Submicron structures created on Ni thin film by submicron focusing of femtosecond EUV light pulses”, Appl. Phys. Express 16, 016503 (2023).
  3. Shunya Yokomae, Yoko Takeo, Takenori Shimamura, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, Hidekazu Mimura, “ Abrasive slurry jet machining system using polyurethane@silica core–shell particles for internal surfaces of axisymmetric x-ray mirrors”, Review of Scientific Instruments, 94, 015106 (2023).
  4. Takehiro Kume, Kentaro Hiraguri, Yoichi Imamura, Yusuke Matsuzawa, Takahiro Saito, Hiroaki Miyashita, Yoko Takeo, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi,Hirokazu Hashizume, Hidekazu Mimura, “Fabrication of soft x-ray monolithic Wolter mirror based on surface scanning measurement using touch probe”, Review of Scientific Instruments, 93, 063101 (2022).
  5. J. Guo, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, H. Mimura, Atomic-level smoothing of glass and silicon surfaces by water polishing with an acrylic polymer plate, Appl. Phys. Lett., 120, 094105 (2022).

国際会議論文（査読あり）

  1. Hidekazu Mimura, Gota Yamaguchi, Keito Tamura, Hirokatsu Yumoto, Takahisa Koyam, Hidekazu Takano, Yujiro Hayashi, Makina Yabashi, Haruhiko Ohashi，“High-speed imaging of metal drilling using 100-keV X-rays at SPring-8”, Proc. SPIE 12240, 1224009 (2022).
  2. T. Shimamura, Y. Takeo, F. Moriya, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, K. Shimba, Y. Jimbo, H. Mimura, “Design of soft x-ray fluorescence microscopy beyond 100-nm spatial resolution with ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror”, Proc. SPIE 12240, 1224004 (2022).

国際会議発表

  1. Hidekazu Mimura, Gota Yamaguchi, Keito Tamura, Hirokatsu Yumoto, Takahisa Koyam, Hidekazu Takano, Yujiro Hayashi, Makina Yabashi, Haruhiko Ohashi，“High-speed imaging of metal drilling using 100-keV X-rays at SPring-8”, SPIE Optical Engineering + Applications, San Diego, California, United States，August 21-25 (2022).
  2. T. Shimamura, Y. Takeo, F. Moriya, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, K. Shimba, Y. Jimbo, and H. Mimura, “Design of soft x-ray fluorescence microscopy beyond 100-nm spatial resolution with ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror”, Advances in X-Ray/EUV Optics and Components XVII, SPIE Optical Engineering + Applications, SPIE Optical Engineering + Applications, 2022, 1224004, San Diego, California, United States, August 20 – 24 (2022).
  3. T. Shimamura, Y. Takeo, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura, “Development of ultrashort Kirkpatrick-Baez mirrors for sub-50-nm achromatic soft-X-ray probes”, XOPT2022 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2022 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2022), XOPT13-02, Online + Yokohama, Kanagawa, Japan, April 19 – 21 (2022).
  4. T. Shimamura, Y. Takeo, T. Kimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura, “Design, fabrication, and testing of 2-mm-long X-ray mirrors for soft-X-ray nanofocusing”, IWXM 2022 (7th International Workshop on Metrology for X-ray Optics, Mirror Design and Fabrication), PS02/04_P26, Online only, April 5 – 8 (2022).
  5. Yoko Takeo and Hidekazu Mimura, "A design method of X-ray focusing mirrors capable of correcting arbitrary astigmatism", IWXM 2022 (7th International Workshop on Metrology for X-ray Optics, Mirror Design and Fabrication), PS02/04_P26, Online only, April 5 – 8 (2022).
  6. Hidekazu Mimura, Takashi Kimura, and Ikuyuki Mitsuishi, "Electroformed X-ray Optics for Microscopy and Astronomy ”, IWXM 2022 (7th International Workshop on Metrology for X-ray Optics, Mirror Design and Fabrication), PS02/04_P26, Online only, April 5 – 8 (2022).

国内会議発表

  1. 工藤悠佑，山本祥大，内田大悟，山口豪太, 三村秀和，「細穴放電加工の放射光高速X線撮像による解析」，2023年度精密工学会春季大会学術講演会，東京理科大学葛飾キャンパス, 2023年3月14日-2023年3月16日, （2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.681-682.）
  2. 伊藤駿佑，伊藤旺成，毛利柊太郎，山口豪太, 三村秀和，「高精度X線望遠鏡用電鋳ウォルターミラーの開発 ―内面形状計測システムの開発―」，2023年度精密工学会春季大会学術講演会，東京理科大学葛飾キャンパス, 2023年3月14日-2023年3月16日, （2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.690-691.）
  3. 毛利柊太郎，伊藤旺成，伊藤駿佑，山口豪太, 三村秀和，「高精度X線望遠鏡用電鋳ウォルターミラーの開発 ―内面成膜システムの開発―」，2023年度精密工学会春季大会学術講演会，東京理科大学葛飾キャンパス, 2023年3月14日-2023年3月16日, （2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.692-693.）
  4. 三村秀和，「回転体ミラーと自由曲面X線ミラー」，第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，立命館大学，2023年1月7日～1月9日 （依頼講演）
  5. 三村秀和，「軟X線から硬X線領域にわたる放射光ミラーに関する研究開発」，第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，立命館大学，2023年1月7日～1月9日　（高良・佐々木賞受賞講演）
  6. 伊藤駿佑，伊藤旺成，毛利柊太郎，山口豪太，作田皓基，安福千貴，藤井隆登，岡田久美子，吉平圭徳，叶哲生，石田直樹，田村啓輔，宮田喜久子，久米健大，松澤雄介，今村洋一，齋藤貴宏，平栗健太郎，高野秀和，香村芳樹，矢橋牧名，橋爪寛和，三石郁之，三村秀和，「高精度X線望遠鏡用電鋳ウォルターミラーの開発」，第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，立命館大学，2023年1月7日～1月9日（ポスター）.
  7. 三村秀和，「アクリル板と水のみによるガラス表面とシリコン表面の原子レベル平坦化」，第4回ナノ茶論，2022年12月19日　オンライン　（依頼講演）．
  8. 伊藤旺成，伊藤駿祐，毛利柊太郎，山口豪太，三村秀和，「超高分解能X線望遠鏡の実現に向けたNi電鋳ミラーの形状精度向上ーシミュレーションモデルの構築と遮蔽物配置による膜厚分布の均一化ー」，電気加工学会全国大会(2022)，名古屋工業大学，2022年11月24日～25日.
  9. 三村秀和，「高速X線撮像が拓く精密加工学」，SPring-8シンポジウム2022，SPring-8, 2022年9月25日，9月26日（依頼講演）
  10. 伊藤旺成，伊藤駿佑，毛利柊太郎，山口豪太, 三村秀和，「X 線望遠鏡用ウォルターミラーの高精度作製プロセスの開発 ―電鋳プロセスにおけるミラー長手方向膜厚分布の均一化―」，2022年度精密工学会秋季大会学術講演会, オンライン開催，2022年9月7日-2022年9月9日, （2022 年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p.83-84.）
  11. 工藤悠佑，山口豪太，山本祥大，内田大悟，三村秀和，「細穴放電加工の放射光高速X線撮像による解析」，2022年度精密工学会秋季大会学術講演会, オンライン開催，2022年9月7日-2022年9月9日, （2022 年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p.79-80.）
  12. 山本祥大，工藤悠佑，内田大悟，山口豪太，三村秀和，「小径工具を用いた金属ミーリング加工の放射光高速X線撮像による解析」，2022年度精密工学会秋季大会学術講演会, オンライン開催，2022年9月7日-2022年9月9日, （2022 年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p.77-78.）

特許出願

  1. 山内薫，本山央人，安齋哲央，三村秀和，岩崎純史，紫外光による半導体材料の微細加工，特願2022-187697．

2021年度（2021年4月1日～2022年3月31日）

研究論文（査読あり）

  1. Yusuke Matsuzawa, Kentaro Hiraguri, Hirokazu Hashizume, Hidekazu Mimura, “ Organic abrasive machining system for optical fabrication with 0.1-mm spatial resolution”, Review of Scientific Instruments, 93, 013101 (2022).
  2. G. Yamaguchi, H. Motoyama, S. Owada, Y. Kubota, S. Egawa, T. Kume, Y. Takeo, M. Yabashi, H. Mimura, “Copper electroforming replication process for soft x-ray mirrors”, Review of Scientific Instruments, 92, 123106 (2021).

国際会議論文（査読あり）

  1. S. Yokomae, Y. Takeo, T. Shimamura, Y. Matsuzawa, T. Kume, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi and H. Mimura, “Development of figure correction system for axisymmetric x-ray mirrors”, Proc. SPIE 11837, 1183709 (2021).
  2. A. Ito, G. Yamaguchi, T. Watanabe, Y. Takeo, T. Kume, Y. Matuzawa, T. Saito. K. Hiraguri, A. Takigawa, K. Sakuta, K. Ampuku, K. Okada, K. Yoshihira, T. Kanoh, N, Ishida, K. Tamura, K. Miyata, I.Mitsuishi, H. Hashizume, H. Mimura, “Electrodeposition simulation for fabricating Wolter mirrors of X-ray telescopes”, Proc. SPIE 11837, 118370D (2021).

国際会議発表

  1. S. Yokomae, Y. Takeo, T. Shimamura, Y. Matsuzawa, T. Kume, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi and H. Mimura, “Development of figure correction system for axisymmetric x-ray mirrors,” SPIE Optical Engineering + Applications, San Diego, California, United States + Online, 1-5 August (2021).
  2. A. Ito, G. Yamaguchi, T. Watanabe, Y. Takeo, T. Kume, Y. Matuzawa, T. Saito. K. Hiraguri, A. Takigawa, K. Sakuta, K. Ampuku, K. Okada, K. Yoshihira, T. Kanoh, N, Ishida, K. Tamura, K. Miyata, I.Mitsuishi, H. Hashizume, H. Mimura, “Electrodeposition simulation for fabricating Wolter mirrors of X-ray telescopes”, SPIE Optical Engineering + Applications, San Diego, California, United States + Online, 1-5 August (2021).

国内会議発表

  1. 田村圭都，山口豪太，前田利光，鳥越功，三村秀和，「ドリル加工現象の高速X線撮像」，202年度精密工学会春季大会学術講演会, オンライン開催+東京工業大学，2022年3月15日-2022年3月17日, 2022 年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.122-123.
  2. 島村 勇徳, 竹尾 陽子, 木村 隆志, 仙波 泰徳, 岸本 煇, ⼤橋 治彦, 三村 秀和, 「超小型 KB ミラーを用いた軟 X 線 sub 50 nm 集光システムの開発」，2021年度精密工学会秋季大会学術講演会，オンライン開催＋神戸大学，2021年9月21日 – 2021年9月27日, 2021 年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p.543-544 [Presentation].
  3. 郭建麗，松澤雄介，三村秀和，「アクリル定盤と水によるシリコンウェハー表面の平坦化」，2021年度精密工学会秋季大会，2021年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 121-122，オンライン，2021年9月21～27日.

特許出願

  1. 竹尾陽子，三村秀和，ミラーの設計方法、および該設計方法における設計式が成り立つ反射面を備えた非点収差制御ミラー，特願2021-003117.
  2. 竹尾陽子，三村秀和，ミラーの設計方法、および該設計方法における設計式が成り立つ反射面を備えた非点収差制御ミラー，特願2021-003118.
  3. 竹尾陽子，三村秀和，ミラーの設計方法、および該設計方法における設計式が成り立つ反射面を備えた非点収差制御ミラー，特願2021-003119.

2020年度（2020年4月1日～2021年3月31日）

研究論文（査読あり）

  1. Y. Kubota, H. Motoyama, G. Yamaguchi, S. Egawa, Y. Takeo, M. Mizuguchi, S. Himanshu, S. Owada, K. Tono, H. Mimura, I. Matsuda, and M. Yabashi, “Scanning magneto-optical Kerr effect (MOKE) microscopy with element-selectivity by using a soft X-ray free electron laser”, Appl. Phys. Lett., 117, 042405 (2020).
  2. K. Sakaue, H. Motoyama, R. Hayashi, A. Iwasaki, H. Mimura, K. Yamanouchi, T. Schibuya, M. Ishino, T-H Dinh, H. Ogawa, T. Higashiguchi, M. Nishikino, and R. Kuroda, “Surface processing of PMMA and metal nano-particle resist by sub-micrometer focusing of coherent extreme ultraviolet high-order harmonics pulses”, Optics Letters, 45, 2926-2929 (2020) 
  3. Y. Takeo, H. Motoyama, T. Shimamura, T. Kimura, T. Kume, Y. Matsuzawa, T Saito, Y. Imamura, H. Miyashita, K. Hiraguri, H. Hashizume, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura, “A highly efficient nanofocusing system for soft x rays” , Appl. Phys. Lett. 117, 151104 (2020).
  4. Y. Senba, H. Kishimoto, Y. Takeo, H. Yumoto, T. Koyama, H. Mimura and H. Ohashi, “Stable sub-micrometre high-flux probe for soft X-ray ARPES using a monolithic Wolter mirror”, Journal of Synchrotron Radiation, 27 (5), 1103-1107 (2020).

国際会議論文（査読あり）

  1. Gota Yamaguchi, Takehiro Kume, Yoko Takeo, Yusuke Matsuzawa, Kentaro Hiraguri, Yoichi Imamura, Hiroaki Miyashita, Keisuke Tamura, Yusuke Takehara, Ayumu Takigawa, Tetsuo Kanoh, Kenji Tachibana, Ikuyuki Mitsuishi, Hirokazu Hashizume, Hidekazu Mimura, ” Development of precise electroformed Wolter mirror for X-ray astronomy”, SPIE Proceedings, 11491, 114910K (2020).
  2.  Takenori Shimamura, Yoko Takeo, Takashi Kimura, Hirokazu Hashizume, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura, “Design of ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror for soft x-ray nanofocusing”, SPIE Proceedings, 11492, 114920P (2020).
  3. Yoko Takeo, Hiroto Motoyama, Takenori Shimamura, Takashi Kimura, Takehiro Kume, Yusuke Matsuzawa, Takahiro Saito, Yoichi Imamura, Hiroaki Miyashita, Kentarou Hiraguri, Hirokazu Hashizume, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura, “Design of two-stage soft-X-ray nano-focusing system with a ring-focusing mirror and quasi-Wolter mirror”, SPIE Proceedings, 11492, 114920N (2020).
  4. Hidekazu Mimura, Gota Yamaguchi, Takehiro Kume, Yoko Takeo, Akinari Ito, Yusuke Matsuzawa, Takahiro Saito, Kentarou Hiraguri, Yusuke Takehara, Ayumu Takigawa, Keisuke Tamura, Tetsuo Kanoh, Kenji Tachibana, Hirokazu Hashizume, Ikuyuki Mitsuishi,” Advanced fabrication technologies for ultraprecise replicated mirrors for x-ray telescopes” , SPIE Proceedings,11444, 114441G (2020).
  5. Ayumu Takigawa, Yusuke Takehara, Tetsuo Kanoh, Ryusei Yamaguchi, Naoki Ishida, Keisuke Tamura, Gota Yamaguchi, Akinari Ito, Yoko Takeo, Takehiro Kume, Yusuke Matsuzawa, Takahiro Saito, Kentarou Hiraguri, Hirokazu Hashizume, Hidekazu Mimura, Ikuyuki Mitsuishi, “Space electroformed x-ray optics development”, SPIE Proceedings, 11444, 114447B (2020).
  6. Takehiro Kume, Hirokazu Hashizume, Kentarou Hiraguri, Yusuke Matsuzawa, Yoichi Imamura, Hiroaki Miyashita, Takahiro Saito, Gota Yamaguchi, Yoko Takeo, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, Hidekazu Mimura, “Development of shape measurement system for high precision Wolter mandrel”, SPIE Proceedings, 11492, 114920M (2020).

国際会議発表

  1. Hidekazu Mimura, Gota Yamaguchi, Takehiro Kume, Yoko Takeo, Akinari Ito, Yusuke Matsuzawa, Takahiro Saito, Kentarou Hiraguri, Yusuke Takehara, Ayumu Takigawa, Keisuke Tamura, Tetsuo Kanoh, Kenji Tachibana, Hirokazu Hashizume, Ikuyuki Mitsuishi, “Advanced fabrication technologies for ultraprecise replicated mirrors for x-ray telescopes”, SPIE Astronomical Telescopes + Instrumentation, Online Only, December 14 – 18 (2020).
  2. Ayumu Takigawa, Yusuke Takehara, Tetsuo Kanoh, Ryusei Yamaguchi, Naoki Ishida, Keisuke Tamura, Gota Yamaguchi, Akinari Ito, Yoko Takeo, Takehiro Kume, Yusuke Matsuzawa, Takahiro Saito, Kentarou Hiraguri, Hirokazu Hashizume, Hidekazu Mimura, Ikuyuki Mitsuishi, “Space electroformed x-ray optics development”, SPIE Astronomical Telescopes + Instrumentation, Online Only, December 14 – 18 (2020).
  3. Gota Yamaguchi, Takehiro Kume, Yoko Takeo, Yusuke Matsuzawa, Kentaro Hiraguri, Yoichi Imamura, Hiroaki Miyashita, Keisuke Tamura, Yusuke Takehara, Ayumu Takigawa, Tetsuo Kanoh, Kenji Tachibana, Ikuyuki Mitsuishi, Hirokazu Hashizume, Hidekazu Mimura, ” Development of precise electroformed Wolter mirror for X-ray astronomy”, 114910K, Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics IX, Optical Engineering + Applications, SPIE Optics + Photonics 2020 Digital Forum, Online Only, August 24-September 4 (2020).
  4. Takenori Shimamura, Yoko Takeo, Takashi Kimura, Hirokazu Hashizume, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura, “Design of ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror for soft x-ray nanofocusing,” 114920P, Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics IX, Optical Engineering + Applications, SPIE Optics + Photonics 2020 Digital Forum, Online Only, August 24-September 4 (2020).
  5. Yoko Takeo, Hiroto Motoyama, Takenori Shimamura, Takashi Kimura, Takehiro Kume, Yusuke Matsuzawa, Takahiro Saito, Yoichi Imamura, Hiroaki Miyashita, Kentarou Hiraguri, Hirokazu Hashizume, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, Hidekazu Mimura, “Design of two-stage soft-X-ray nano-focusing system with a ring-focusing mirror and quasi-Wolter mirror,” 114920N, Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics IX, Optical Engineering + Applications, SPIE Optics + Photonics 2020 Digital Forum, Online Only, August 24-September 4 (2020).
  6. Takehiro Kume, Hirokazu Hashizume, Kentarou Hiraguri, Yusuke Matsuzawa, Yoichi Imamura, Hiroaki Miyashita, Takahiro Saito, Gota Yamaguchi, Yoko Takeo, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, Hidekazu Mimura, “Development of shape measurement system for high precision Wolter mandrel”, S Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics IX, Optical Engineering + Applications, SPIE Optics + Photonics 2020 Digital Forum, Online Only, August 24-September 4 (2020).
  7. Takenori Shimamura, Yoko Takeo, Takashi Kimura, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura, ” Development of ultra-short Kirkpatrick-Baez mirror system for nano-focusing of soft X-rays,” XOPT2-01, XOPT2020 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2020 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2020), Online Only, April 22 (2020).
  8. Yoko Takeo, Hiroto Motoyama, Takenori Shimamura, Takashi Kimura , Takehiro Kume, Yusuke Matsuzawa, Takahiro Saito, Yoichi Imamura , Hiroaki Miyashita, Kentaro Hiraguri, Hirokazu Hashizume, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura, “Two-stage reflective focusing system for soft X-rays at BL25SU of SPring-8,” XOPT2-02, XOPT2020 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2020 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2020), Online Only, April 22 (2020).

国内会議発表

  1. 清水冴月, 三村秀和，「回転体形状を有する光学素子のX線CT による高精度形状評価法」, 第88回精密工学会現物融合型エンジニアリング専門委員会, 2021年3月15日.
  2. 郭建麗，松澤雄介，三村秀和，「アクリル定盤と水によるガラス表面の平坦化－平坦性と除去レート向上の試み―」，2021年度精密工学会春季大会，2021年度精密工学会春季大会学術講演会，オンライン開催，2021年3月16-22日，2021年度精密工学会春季大会講演論文集 p. 312-313.
  3. 島村 勇徳, 竹尾 陽子, 木村 隆志, 仙波 泰徳, 岸本 輝, 大橋 治彦, 三村 秀和, 「差分成膜法による超小型X線集光ミラーの作製」, 2021年度精密工学会春季大会学術講演会, オンライン開催，2021年3月16日-2021年3月22日, 2021 年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.664-665.
  4. 伊藤 旺成, 山口 豪太, 竹尾 陽子, 三村 秀和, 「高分解能なＸ線望遠鏡実現に向けたウォルターミラーの電鋳プロセスの高精度化―電流密度分布の有限要素解析を通じた最適なめっき条件の探求―」, 2021年度精密工学会春季大会, 2021年度精密工学会春季大会学術講演会, オンライン開催, 2021年3月16日-2021年3月22日, 2021年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.662-663.
  5. 佐俣直弥, 大竹 豊, 三村秀和, 長井超慧, 「X線回転楕円集光ミラーの形状取得のためのX線CTボリュームからの体積率を用いた表面抽出の高精度化 第2報」，2021年度精密工学会春季大会, 2021年度精密工学会春季大会学術講演会, オンライン開催, 2021年3月16日-2021年3月22日, 2021年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.666-667.
  6. 渡辺貴史, 竹尾陽子, 山口豪太, 三村秀和, 「タイコグラフィ法による大型X線ウォルターミラーの光学的評価」, 2021年度精密工学会春季大会, 2021年度精密工学会春季大会学術講演会, オンライン開催, 2021年3月16日-2021年3月22日, 2021年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.669-670.
  7. 山口 豪太, 本山 央人, 大和田 成起, 久保田 雄也, 江川 悟, 竹尾 陽子, 矢橋 牧名, 三村 秀和,「 銅電鋳製回転楕円ミラーによる軟X線FELのサブミクロン集光」, 第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, オンライン開催，2021年1月8日-2021年1月10日.
  8. 島村 勇徳, 竹尾 陽子, 木村 隆志, 仙波 泰徳, 岸本 輝, 大橋 治彦, 三村 秀和, 「軟X線による超小型Kirkpatrick-Baezミラーの特性評価」, 第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, オンライン開催，2021年1月8日-2021年1月10日.
  9. 松本豊, 竹尾陽子, 山口豪太, 横前俊也, 三村秀和, 江川悟, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 木村隆志,「X線自由電子レーザーとマイクロ流路デバイスを用いた液中試料観察法の開発」第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, オンライン開催，2021年1月8日-2021年1月10日.
  10. 三村秀和, 「軟Ｘ線用集光ミラーの開発と大学研究の事業化の一例」, 強光子場科学研究懇談会, 2020年10月24日, （依頼講演）.
  11. 松本豊, 山口豪太, 横前俊也, 三村秀和, 竹尾陽子, 江川悟, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 木村隆志, 「X線自由電子レーザーを用いたイメージングとデータ解析の高効率化について」, 2020 9/1-9/7 精密工学会2020年度秋季大会オンライン開催, 2020年 9月1-7日.

特許出願

  1. 郭建麗，松澤雄介，三村秀和,ガラス研磨加工方法およびガラス研磨加工装置,出願者:東京大学，特願2020-034375

2019年度（2019年4月1日～2020年3月31日）

研究論文（査読あり）

  1. G. Yamaguchi, H. Mimura, “Effect of Electrodeposition Conditions on Surface Roughness of Copper Electroformed Replicas”, International Journal of Electrical Machining, 25, 33-37 (2020).
  2. Y. Takeo, A. Suzuki, H. Motoyama, Y. Takei, T. Kume, Y. Matsuzawa, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura, Soft x-ray nanobeam formed by an ellipsoidal mirror, Applied Physics Letters, 116, 121102 (2020).
  3. S. Egawa, H. Motoyama, A. Iwasaki, G. Yamaguchi, T. Kume, K. Yamanouchi, and H. Mimura, “Single-shot achromatic imaging for a broadband soft X-ray pulse,” Opt. Lett. 45(2) 515-518 (2020).
  4. S. Egawa, S. Owada, H. Motoyama, G. Yamaguchi, Y. Matsuzawa, T. Kume, Y. Kubota, K. Tono, M. Yabashi, H. Ohashi, and H. Mimura, “Full-field microscope with twin Wolter mirrors for soft X-ray free-electron lasers,” Opt. Express 27(23), 33889-33897 (2019).
  5. Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura, Probing the spatial coherence of soft X-ray beams with Fresnel mirrors at BL25SU of SPring-8, Journal of Synchrotron Radiation, 26, 756-761 (2019)
  6. H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, K. Yamanouchi, and H. Mimura, Broadband nano-focusing of high-order harmonics in the soft X-ray region with ellipsoidal mirror, Appl. Phys. Lett. , 114, (24), 241102 (2019).
  7. H. Motoyama, S. Owada, G. Yamaguchi, T. Kume, S. Egawa, K. Tono, Y. Inubushi, T. Koyama, M. Yabashi, H. Ohashi, and H. Mimura, Intense sub-micron focusing of soft x-ray free-electron laser beyond 10^16 W/cm^2 with an ellipsoidal mirror, J. Synchrotron Radiat., 26, 1406-1411 (2019).
  8. H. Mimura, Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, X-ray ring-focusing mirror, Appl. Phys. Lett. 114, 131901 (2019).

解説記事

  1. 本山央人，三村秀和，回転楕円ミラーによる軟 X 線 FEL のサブミクロン集光と波長スケール集光への展望，放射光，トピックス，19-25，(2020)

国際会議論文（査読あり）

  1. Y. Matsuzawa, S. Yokomae, J. Guo, K. Hiraguri, H. Hashizume, H. Mimura, Development of organic abrasive machining system for fabricating soft x-ray ellipsoidal mirrors, Proc. SPIE 11108, 1110803 (2019).
  2. T. Kume, H. Hashizume, K. Hiraguri, Y. Imamura, H. Miyashita, T. Mukoda, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Takeo, T. Shimamura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, H. Mimura, “Development of 120-mm-long ellipsoidal mirror for soft x-ray microscopy,” SPIE Proceedings, 11108, 1110806 (2019).
  3. S. Shimizu, Y. Takeo, G. Yamaguchi, Y. Ohtake, Y. Nagai, and H. Mimura, “Three-dimensional shape measurement of an ellipsoidal mirror by industrial x-ray computed tomography,” SPIE Optics + Photonics, San Diego, USA, 11-15 August, (2019).
  4. S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Motoyama, S. Owada, Y. Kubota, K. Tono, H. Ohashi, M. Yabashi, H. Mimura, An optical design of twin Wolter mirrors for focusing and imaging experiments with soft X-ray free electron lasers, Proc. SPIE 11108, 1110804 (2019).

国際会議発表

  1. H. Motoyama, Focusing a femtosecond XUV pulse using a Wolter mirror, the Symposium on Recent Development in Ultrafast Intense Laser Science, The University of Tokyo, Tokyo, Japan, 27, March, (2020)
  2. T. Shimamura, and H. Mimura, “Fabrication of ultra-small mirrors for soft-X-ray nano-focusing by differential deposition,” The 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2019), NTR-B-17, Matsue, Shimane, Japan, November 12-15 (2019).
  3. S. Yokomae, Y. Matsuzawa, and H. Mimura, Fundamental research on machining of Ni surfaces using organic abrasives, 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2019), Kunibiki Messe, Matsue, Japan, 12-15 November (2019).
  4. Jianli Guo, Yusuke Matsuzawa, and Hidekazu Mimura, Studies on chemical reactivity of organic material and its application to planarization of glass surface, The 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2019), KUNIBIKI MESSE, Shimane Prefectural Convention Center, Matsue, Japan, 12-15 November (2019).
  5. S. Yokomae, Y. Matsuzawa, and H. Mimura, Construction of a precision surface machining system for axisymmetric soft x-ray mirrors, The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics, Trust City Conference Sendai, Sendai, Japan, 25-26 October (2019).
  6. R. Oide, Y. Matsuzawa, S. Yokomae, H. Hashizume, H. Mimura, Improvement of removal rate and surface roughness by tool conditions in organic abrasive machining, 8th International Conference of Asian Society for Procesion Engineering and Nanotechnology (ASPEN2019), Kunibiki messe, Matsue, Japan, 12-15 November (2019).
  7. H. Motoyama, Soft X-ray focusing using ellipsoidal mirrors, The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics, Trust City Conference Sendai, Miyagi, Japan, 25-26 October (2019)
  8. H. Motoyama, Sub-micron focusing of soft x-ray free-electron lasers at SACLA, International Young Researchers Workshop on Synchrotron Radiation Science 2019, Higashi-Hiroshima Campus, Hiroshima University, Hiroshima, Japan, 3-4 September (2019).
  9. T. Kume; H. Hashizume; K. Hiraguri; Y. Imamura; H. Miyashita; T. Mukoda; Y. Matsuzawa; G. Yamaguchi; Y. Takeo; T. Shimamura; Y. Senba; H. Kishimoto; H. Ohashi; H. Mimura. Development of 120-mm-long ellipsoidal mirror for soft x-ray microscopy. In: Advances in X-Ray/EUV Optics and Components XIV. International Society for Optics and Photonics, 2019. p. 1110806.
  10. S. Egawa, H. Motoyama, G. Yamaguchi, S. Owada, Y. Kubota, Y. Matsuzawa, T. Kume, M. Yabashi, and H. Mimura, “Fabrication and testing of Wolter type-I mirrors for femtosecond soft x-ray imaging,” SPIE Optics + Photonics, San Diego, USA 11-15 August, 2019. S. Shimizu, Y. Takeo, G. Yamaguchi, Y. Ohtake, Y. Nagai, and H. Mimura, “Three-dimensional shape measurement of an ellipsoidal mirror by industrial x-ray computed tomography,” SPIE Optics + Photonics, San Diego, USA, 11-15 August (2019).
  11. Y. Takeo, A. Suzuki, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura, Soft X-ray focusing system using ellipsoidal mirror for ptychographic imaging, International Conference on X-ray Optics and Applications 2019 (XOPT2019), Yokohama, Japan, 22-26 April (2019).
  12. Y. Matsuzawa, S. Yokomae, H. Hashizume and H. Mimura, A surface figuring method for fabricating ultraprecise soft x-ray ellipsoidal mirror, International Conference on X-ray Optics and Applications 2019 (XOPT2019), Yokohama, Japan, 23-25 April (2019).
  13. S. Egawa, H. Motoyama, G. Yamaguchi, S. Owada, Y. Kubota, Y. Matsuzawa, T. Kume, M. Yabashi, and H. Mimura, “Femtosecond soft x-ray imaging based on grazing incidence objective mirrors,” International Conference on X-ray optics and applications, Yokohama, Japan, 23-25 April (2019).
  14. T. Shimamura, and H. Mimura, “Development of Small Kirkpatrick-Baez Mirror System for Nano-Focusing of X-Rays (Fabrication of Small Mirrors),” XOPT2019 (International Conference on X-ray Optics and Application), P12, Yokohama, Japan, April 23-25 (2019).
  15. J. Guo, Y. Matsuzawa and H. Mimura, Study on Chemical Reactivity of Organic Materials and Glass,” International Conference on X-ray optics and applications, Yokohama, Japan, 23-25 April (2019).
  16. S. Shimizu, Y. Takeo, G. Yamaguchi and H. Mimura, Determination of approximate functions for shape measurement of soft x-ray focusing ellipsoidal mirrors, ” International Conference on X-ray optics and applications, Yokohama, Japan, 23-25 April (2019).
  17. H. Motoyama, Submicron soft x-ray FEL focusing system with an ellipsoidal mirror, SPIE 2019 SPIE Optics+Optoelectronics, Prague, Czech Republic, 1-4 April (2019)

国内会議発表

  1. 郭建麗，松澤雄介，三村秀和，アクリル定盤と水によるガラス表面の平坦化，2019年度精密工学会春季大会，2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 650-651，東京農工大学，2020年3月17～19日.
  2. 河野純太,大竹豊,三村秀和,長井超慧， X 線回転楕円集光ミラーの形状取得のための X 線 CT ボリュームからの体積率を用いた表面抽出の高精度化， 2019年度精密工学会春季大会, G27, 東京農工大学， 2020年3月17～19日.
  3. 大出龍一郎, 横前 俊也, 松澤雄介，三村秀和，有機砥粒加工法におけるワーク振動による加工性能の向上, 2019年度精密工学会春季大会, 東京農工大学, 2020年3月17～19日, 2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
  4. 清水冴月，山口豪太，竹尾陽子，長井長慧，大竹豊，三村秀和，X線CTによる回転楕円ミラーの形状評価―測定精度，再現性の評価―，2019年度精密工学会春季大会学術講演会，東京農工大学 小金井キャンパス，2020年3月17日～2019年3月19日．
  5. 松本豊，江川悟，山口豪太，横前俊也，湯本博勝，小山貴久，大橋治彦，三村秀和，木村隆志，マイクロ流体デバイスを用いた液中試料X線計測技術の開発，2019年度精密工学会春季大会学術講演会，東京農工大学 小金井キャンパス，2020年3月17日～2020年3月19日．
  6. 東駿吾，横前俊也，山口豪太，三村秀和，木村隆志， 電鋳法とホログラフィック露光を組み合わせた新規光学素子開発に関する研究, 2019年度精密工学会春季大会学術講演会，東京農工大学 小金井キャンパス，2020年3月17日～2019年3月19日．
  7. 本山央人，回転楕円ミラーを用いた軟X線集光，ISSP「次世代放射光へのイノベーション」物性研大講義室2月14日(2020)
  8. 小西祐輔，鈴木明大，竹尾陽子，島村勇徳，仙波泰徳，岸本煇，大橋治彦，三村秀和，西野吉則，回転体ミラーを用いた軟X線タイコグラフィの確立に向けた予備実験，第33回日本放射光学会年会・放射光化学合同シンポジウム，ウインクあいち，2020年1月10日-2020年1月12日.
  9. 久保田雄也，本山央人，山口豪太，江川悟，竹尾洋子，水口将暉，Himanshu Sharma，大和田成起，登野健介，三村秀和，松田巌，矢橋牧名, 軟X線自由電子レーザー及び回転楕円集光ミラーを用いた磁気光学研究, 第80回応用物理学会秋季学術講演会, 北海道大学札幌キャンパス, 9月17日～21日(2019).
  10. H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, H. Mimura, K. Yamanouchi, Broadband nano-focusing of high-order harmonics in soft X-ray region with ellipsoidal mirror, 分子科学討論会2019名古屋大学，東山キャンパス9月17日～20日 (2019) *ポスター.
  11. 竹尾陽子，鈴木明大，仙波泰徳，岸本輝，大橋治彦，三村秀和，軟X線タイコグラフィを⽤いた回転楕円ミラーの形状評価，2019年度精密工学会秋季大会学術講演会，静岡大学浜松キャンパス，2019年9月4日～2019年9月6日．
  12. 横前俊也，松澤雄介，三村秀和，回転楕円軟X線ミラー内面形状修正法の開発（第3報）－有機砥粒加工による内面加工装置－，2019年度精密工学会秋季大会学術講演会，静岡大学，2019年9月4日～6日，2019年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 416.
  13. 大出龍一郎, 横前 俊也, 松澤雄介，三村秀和，有機粒子加工法に関する基礎研究̶ツール形状および工作物の回転が加工痕に及ぼす影響̶，2019年度精密工学会秋季大会，静岡大学，2020年9月4～6日，2019年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集.
  14. 清水冴月，竹尾陽子，山口豪太，三村秀和，X線CTによる回転楕円ミラーの形状計測の高精度化，2019年度精密工学会秋季大会学術講演会，静岡大学浜松キャンパス，2019年9月4日～2019年9月6日．

特許出願

  1. 島村勇徳，橋爪寛和，三村秀和，特願2020-21012.

2018年度（2018年4月1日～2019年3月31日）

研究論文（査読あり）

  1. H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Fabrication of a precise ellipsoidal mirror for soft X-ray nanofocusing, Review of Scientific Instruments, 89, 093104 (2018).
  2. S. Yokomae, H. Motoyama, H. Mimura, Development of figure correction system for inner surface of ellipsoidal mirrors, Precision Engineering, 53, P. 248-251 (2018).
  3. H. Motoyama, M. Nagayama, and H. Mimura, Differential deposition for producing microstructure，Precision Engineering, 52, p. 380-383 (2018).
  4. T. Kume, Y. Takei, S. Egawa, H. Motoyama, Y. Takeo, G. Yamaguchi, H. Mimura, Development of electroforming process for soft x-ray ellipsoidal mirror, Rev. Sci. Instrum. 90, 021718 (2019).

解説記事

  1. 三村秀和, 高精度ミラー作製のためのナノ精度電鋳プロセスの開発, 電気加工学会誌, 52(130),p. 79-84 (2018).

国際会議発表

  1. H. Mimura. Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, Wavefront evaluation in soft x-ray focusing system based on ellipsoidal mirror, Optics + Photonics, San Diego, USA, 19-23 August (2018).
  2. H. Motoyama, S. Owada, G. Yamaguchi, T. Kume, K. Tono, Y. Inubushi, T. Koyama, S. Egawa, H. Ohashi, H. Mimura, Nano-forcusing of sft x-ray free electron laser with a hybrid two-stage reflective optics, International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2018), Taipei, Taiwan, 10-15 June (2018).
  3. H. Mimura, Fabrication of precise ellipsoidal mirrors for sfot x-ray nanofocusing, International Workshop on X-ray Optics and Application (IWXM2018), Hsinchu, Taiwan, 6-9 June. (Invited)
  4. H. Mimura, Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, X-ray Ring-Focusing Mirror, International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2018 (XOPT2018),Yokohama, Japan, 23-27 April (2018).
  5. S. Egawa, H. Motoyama, A. Iwasaki, K. Yamanouchi, H. Mimura, Imaging Quality of HHG Achromatic Microscope Using Wolter Mirrors, International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2018 (XOPT2018), Yokohama, Japan, 23-27 April (2018).
  6. Yuusuke Matsuzawa, Shinji Okawa, Hidekazu Mimura, Development of a high precision processing for master mandrel of soft X-ray ellipsoidal mirror, International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2018 (XOPT2018), Yokohama, Japan, 23-27 April (2018).
  7. Shunya Yokomae, Hiroto Motoyama, Hidekazu Mimura, Figure correction of ellipsoidal x-ray mirrors by ion beam sputtering deposition, International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2018 (XOPT2018), Yokohama, Japan, 23-27 April (2018).

国内会議発表

  1. H. Motoyama A. Iwasaki, T. Sato, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, H. Mimura and K. YamanouchiSub-micron focusing of soft x-ray high-order harmonics for timeresolved measurements of two-photon double ionization processes, 日本化学会第99春季年会3月16日-19日 (2019).
  2. 久保田雄也，本山央人，山口豪太，江川悟，竹尾洋子，水口将暉，Himanshu Sharma，大和田成起，三村秀和，松田巌，矢橋牧名マイクロ集光軟X線自由電子レーザーを用いた磁気光学研究日本物理学会 第74回年次大会（2019年）九州大学 伊都キャンパス3月14日-17日 (2019).
  3. 久米健大，山口豪太，三村秀和. ニッケル電鋳法を用いた高精度形状転写プロセスにおける形状転写精度と電析条件の関係. In: 精密工学会学術講演会講演論文集 2019 年度精密工学会春季大会. 公益社団法人 精密工学会, 2019. p. 277-277.
  4. 松澤雄介, 橋爪寛和, 三村秀和，有機粒子を用いた光学ガラスの高空間分解能形状修正加工法，2019年度精密工学会春季大会学術講演会，東京電機大学，2019年3月13日～15日，2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 760-761.
  5. 横前俊也，松澤雄介，三村秀和，回転楕円軟X線ミラー内面形状修正法の開発（第2報）－除去加工修正に向けた特性調査－，2019年度精密工学会春季大会学術講演会，東京電機大学，2019年3月13日～15日，2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 676-677.
  6. 大出龍一郎，松澤雄介，三村秀和，有機粒子加工法に関する基礎研究̶ツール形状および工作物の回転が加工痕に及ぼす影響̶，2019年度精密工学会春季大会，東京電機大学，2019年3月13～15日，2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集.
  7. 郭建麗，松澤雄介，三村秀和，有機材料とガラスの化学的反応性に関する基礎研究，2019年度精密工学会春季大会，2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 666-667，東京電機大学，2019年3月13～15日.
  8. 島村勇徳，三村秀和，小型Kirkpatrick-Baezミラー光学系によるX線ナノ集光システムの開発：軟X線用小型楕円筒面ミラーの作製，2019年度精密工学会春季大会学術講演会，東京電機大学 東京千住キャンパス，2019年3月15日〜3月17日，2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集p.764-765.
  9. 清水冴月，山口豪太，竹尾陽子，三村秀和，X線CTによるX線回転楕円集光ミラーの形状評価，2019年度精密工学会春季大会学術講演会，東京電機大学東京千住キャンパス，2019年3月13日～2019年3月15日．
  10. 竹尾陽子，鈴木明大，仙波泰徳，岸本輝，大橋治彦，三村秀和，回転楕円ミラーによる高NA集光ビームを用いた軟X線タイコグラフィ計測，第32回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，福岡国際会議場，2019年1月9日～2019年1月11日．
  11. 久保田雄也，本山央人，山口豪太，江川悟，竹尾洋子，水口将暉，大和田成起，三村秀和，松田巌，矢橋牧名軟Ｘ線マイクロミラーを用いた磁性研究第32回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム福岡国際会議場1月 9日～ 11日 (2019).
  12. 三村秀和, 軟X線用マイクロ・ナノ集光ミラー開発の現状, 物性研究所 短期研究会 軟X線放射光科学のアップシフト 2018年11月30日(依頼講演).
  13. 竹尾陽子，鈴木明大，仙波泰徳，岸本輝，大橋治彦，三村秀和，回転楕円ミラーによるナノ集光ビームを用いた軟X線タイコグラフィ顕微鏡の開発，日本光学会年次学術講演会Optics & Photonics Japan 2018，筑波大学東京キャンパス文京校舎，2018年10月30日～2018年11月2日．
  14. 島村勇徳，三村秀和，小型Kirkpatrick-Baezミラー光学系によるX線ナノ集光システムの開発―小型楕円筒面ミラーの作製と形状評価―，日本光学会年次学術講演会，筑波大学東京キャンパス文京校舎，2018年10月30日〜11月2日，2018年度日本光学会年次学術講演会講演予稿集，1pP11.
  15. 三村秀和，極限の転写精度を目指した電鋳法の開発と回転楕円X線集光ミラー作製への応用，表面技術協会 表面物性研究会, 大阪産業研究所，2018年6月20日（依頼講演）.

特許出願

  1. 三村秀和，橋爪寛和，松澤雄介，局所研磨加工方法、および局所研磨加工装置、並びに該局所研磨加工装置を用いた修正研磨加工装置 ,特願2018-150748.　特許6446590号.

2017年度（2017年4月1日～2018年3月31日）

研究論文（査読あり）

  1. H. Motoyama, M. Nagayama, and H. Mimura, “Differential deposition for producing microstructure，Precision Engineering, 52, p. 380-383 (2018).
  2. 軟X線回転体ミラーのマンドレル作製システムの開発（第2報），武井 良憲, 三村 秀和，精密工学会誌 83 (6) p. 585-592 (2017).
  3. T. Saito, Y. Takeo, and H. Mimura，Precise characterization of focused vortex beams，Japanese Journal of Applied Physics 56, 092501 (2017).

解説記事

  1. 三村秀和，ナノ精度コピーによる超高精度ミラーの量産化，OPTRONICS, 429 (9), p. 134-138(2017).

国際会議論文（査読あり）

  1. H. Motoyama, S. Owada, K. Tono, T. koyama, H. Ohashi, M. Yabashi, and H. Mimura,　Optical design of a sub-1-μm focusing system for soft x-ray free electron lasers”, Proc.　SPIE 10386, 1038609 (2017).
  2. T. Kume, Y. Takei, S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Motoyama, and H. Mimura, Three-dimensional Shape Measurement for X-ray Ellipsoidal Mirror, Proc. SPIE 10385, 10385O (2017).

国際会議発表

  1. T. Kume, Y. Takei, S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Motoyama, and H. Mimura, Three- dimensional Shape Measurement for X-ray Ellipsoidal Mirror, 2017 Optics + Photonics, San Diego, USA, 6-10 August (2017).
  2. T. Kume, Y. Takei, S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Motoyama, and H. Mimura, Replication Accuracy of Electroforming Process for X-ray Ellipsoidal Mirror, International Conference on X-ray Optics and Application 2017 (XOPT2017), Yokohama, Japan, 18-21 April (2017).
  3. S. Egawa, H. Motoyama, A. Iwasaki, K. Yamanouchi, H. Mimura, “Construction of a soft x-ray transmission microscope for evaluation of Wolter mirror optics, International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications (2017) (XOPT2017), 18-21 April, 2017, Yokohama, Japan.
  4. S. Egawa, Y. Takei, Y. Matsuzawa, H. Motoyama, T. Kume, Y. Takeo and H. Mimura, Fabrication process of precise mandrel for Wolte mirror,” The 24th Congress of the International Commission for Optics (ICO-24), 21-25 August, 2017, Tokyo, Japan.
  5. H. Motoyama, and H. Mimura, “Focusing EUV light with ellipsoidal mirror “, International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2017 (XOPT2017), Yokohama, Japan, 19-21, April (2017).
  6. H. Motoyama, and H. Mimura, “Development of EUV focusing system based on ellipsoidal mirror, 2017 SPIE Optics + Photonics, San Diego, USA, 6-10, August (2017).
  7. H. Motoyama, A. Iwasaki, T. Sato, H. Mimura, and K. Yamanouchi, “Focusing EUV high-order harmonics at the diffraction limit “, 14th International conference on multiphoton processes, Budapest, Hungary, 24-27 September, (2017).
  8. G. Yamaguchi, T. Kume, H. Mimura, Fabrication of Ellipsoidal Mirror by Cu Electroforming, International Conference on X-ray Optics and Applications 2017, p.8-13, Yokohama, Japan,18-21 April (2017).
  9. G. Yamaguchi, T. Kume, H. Mimura, Fabrication of Cu-electroformed Mirrors for X-ray Focusing, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, NTR-O-07, Seoul, Korea, 14-17 November (2017).
  10. S. Yokomae, H. Motoyama, and H. Mimura, Development of differential deposition method for inner surfaces of ellipsoidal x-ray mirrors, The 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2017), COEX, Seoul, Korea, 14-17 November (2017).
  11. Takenori Shimamura, Hiroto Motoyama, Hayato Nishioka, Hidekazu Mimura, Proposal for mini-KB mirrors and their fabrication processes, The 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2017), COEX, Seoul, Korea, November 14-17 (2017).
  12. Y. Kamata，H. Ogimoto，H. Motoyama，K. Nakagawa，H. Mimura，Development of soft X-ray Laminar-type grating with varied-line-spacing besed on holographic exposure，The 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2017), COEX, Seoul, Korea, November 14-17 (2017).
  13. Y. Matsuzawa and H. Mimura, Development of relative angle determinable stitching　interferometry for steeply curved x-ray mirror, The 24th Congress of the International Commission　for Optics, X-ray and High-energy Optics (ICO-24), 21-25 August, 2017, Tokyo, Japan.
  14. Y. Matsuzawa and H. Mimura, Precise stitching angle determination of surface profiles　measured by microscopic interferometer, International Conference on X-ray Optics, Detectors,　Sources, and their Applications 2017 (XOPT2017), 18-21 April, 2017, Yokohama, Japan.
  15. H. Mimura, Soft x-ray nanofocusing with ellipsoidal mirror, The 24th Congress of the International Commission　for Optics, X-ray and High-energy Optics (ICO-24), 21-25 August, 2017, Tokyo, Japan.

国内会議発表

  1. 山口豪太，久米健大，三村秀和，精密銅電鋳法の転写精度に及ぼす電析条件の影響，2018　年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018年3月13日～3月15日，2018年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 919-920．
  2. 本山央人，大和田成起，久米健大，山口豪太，犬伏雄一，登野健介，小山貴久，江川悟，大橋治彦，矢橋牧名，三村秀和，回転楕円ミラーを用いた軟X線自由電子レーザー集光システムの開発，第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウムつくば国際会議場，つくば市1月8日～1月10日 (2018).
  3. 横前俊也，本山央人，三村秀和，イオンビームスパッタ成膜による回転体ミラーの内面形状修正，2017年度精密工学会秋季大会，大阪大学，2017年9月20日～22日
  4. 横前俊也，本山央人，三村秀和，回転体X線ミラー内面への追加成膜プロセスの開発，第14回X線結像光学シンポジウム，筑波大学，2017年11月29日～30日
  5. 横前俊也，本山央人，三村秀和，軟X線集光用回転楕円ミラーの高精度化 -直接的形状修正法の開発と実証-，第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，つくば国際会議場，2018年1月8日～1月10日.
  6. 横前俊也，本山央人，三村秀和，回転楕円軟X線ミラー内面形状修正法の開発 -ミラー内面修正性能の評価-，2018年精密工学会春季大会，中央大学，2018年3月15日～17日.
  7. 本山央人，大和田成起，久米健大，山口豪太，犬伏雄一，登野健介，小山貴久，江川悟，大橋治彦，矢橋牧名，三村秀和：回転楕円ミラーを用いた軟X線自由電子レーザー集光システムの開発，第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，筑波大学，2018年1月8日~10日.
  8. 島村勇徳, 本山央人, 松澤雄介, 西岡勇人, 三村秀和, X線集光用超小型KBミラーのための作製・計測プロセスの開発, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 中央大学, 2018年3月15日～3月17日, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集p.599-600.
  9. 島村勇徳, 本山央人, 西岡勇人, 三村秀和, X線集光用超小型KBミラーの提案と作製プロセスの開発 , 2017年度精密工学会秋季大会学術講演会, 大阪大学, 2017年9月20日～2017年9月22日, 2017年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集p.819-820.
  10. 鎌田悠，荻本浩人，本山央人，中川桂一，三村秀和，2光束干渉露光による軟X線反射型回折格子の開発　－基板エッチング方法の検討－，2017年精密工学会秋季大会，大阪大学，2017年9月20日～22日.
  11. 鎌田悠，荻本浩人，本山央人，中川桂一，三村秀和，2光束干渉とイオンビームエッチングを用いたデューティ比の制御された回折格子の作製，日本光学会年次学術講演会Optics & Photonics Japan 2017，筑波大学東京キャンパス，2017年10月30日～11月2日
  12. 鎌田悠，荻本浩人，本山央人，中川桂一，三村秀和，2光束干渉露光による軟X線反射型回折格子の開発，第十四回X線結像光学シンポジウム，筑波大学，2017年11月29日～30日.
  13. 鎌田悠，荻本浩人，郭建麗，本山央人，中川桂一，三村秀和，2光束干渉露光とイオンビームエッチングによる軟X線反射型回折格子の開発，第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，つくば国際会議場，2018年1月8日～10日.
  14. 鎌田悠，郭建麗，中川桂一，三村秀和，X線グレーティングのための2光束干渉露光法の開発　－グレーティング作製精度の向上－，2018年精密工学会春季大会，中央大学，2018年3月15日～17日.
  15. 竹尾陽子，本山央人，仙波泰徳，岸本輝，大橋治彦，軟X線集光用高精度回転楕円ミラーの開発，第十四回X線結像光学シンポジウム，筑波大学，2017年11月29日～30日.
  16. 竹尾陽子，本山央人，仙波泰徳，岸本輝，大橋治彦，放射光軟X線による回転楕円ミラーの集光特性評価，第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，つくば国際会議場，2018年1月8日～10日.
  17. 三村秀和，Ni電鋳法による高精度X線ミラーの作製，表面技術協会 関東支部 第93回講演会，表面技術的視点からの材料科学の新展開，2017年12月15日（依頼講演）.
  18. 郭建麗,久米健大,山口豪太,三村秀和,高精度電鋳のためのNi電析条件の検討　-スルファミン酸溶液のpHと濃度が内部応力に与える影響-,2017年度精密工学会秋季大会，2017年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 867-868，大阪大学，2017年9月20～22日.

2016年度（2016年4月1日～2017年3月31日）

研究論文（査読あり）

  1. H. Motoyama, T. Sato, A. Iwasaki, S. Egawa, K. Yamanouchi, and H. Mimura, Development of high-order harmonic focusing system based on ellipsoidal mirror, Rev. Sci. Istrum. 87 051803(2016).
  2. G.Yamaguchi, T. Kume, H. Mimura, A Fundamental Study of Local Electrochemical Nano-processing, International Journal of Electrical Machining (2017).
  3. 武井良憲，三村秀和， “軟X線回転体ミラーのマンドレル作製システムの開発（第1報）－周方向修正加工システムの開発－ “，精密工学会誌，83巻3号（2017）．

解説記事

  1. 三村秀和，高精度回転楕円ミラーによる高強度EUV・軟X線ビーム形成，光アライアンス27(7)，45-49(2016).
  2. 三村秀和，高精度電鋳法の開発と軟X線集光ミラーの作製，Electrochemistry 84(9), 721-725 (2016).
  3. 三村秀和，ナノ精度表面製造法とX線集光ミラー，応用物理 85（11），957-961 (2016).
  4. 三村秀和，電鋳法による高精度表面転写プロセスの開発，電気加工学会誌，51（126），147-151 (2017)．

国際会議論文（査読あり）

  1. S. Egawa, T. Kume, Y. Takeo, Y. Takei, H. Motoyama and H. Mimura, Replication reslut of Wolter mirror for soft x-ray microscopy by electroforming, Proc. SPIE 9687 968705 (2016).
  2. T. Kume, S. Egawa, G. Yamaguchi, and H. Mimura, Influence of Residual Stress of Electrodeposited Layer on Shape Replication Accuracy in Ni Electroforming, Procedia. CIRP, 42, 783-787(2016).
  3. H. Motoyama, M. Nagayama, and H. Mimura, Development of an Ion Beam Sputter Deposition System for Producing Complex-Shaped X-ray Mirrors, Procedia CIRP 42 512-515 (2016).
  4. T. Saito, Y. Takeo, H. Mimura, “Wavefront measurement of vortex beam using ptychographic phase retrieval,” Proc. SPIE 9982, 998202 (2016). 5. Y. Takei, H. Mimura, “Development of surface profiler for master mandrel of x-ray ellipsoidal mirror “, Proc. SPIE 9962, 99620C (2016).

国際会議発表

  1. S. Egawa, T. Kume, Y. Takeo, Y. Takei, H. Motoyama and H. Mimura, Replication reslut of Wolter mirror for soft x-ray microscopy by electroforming, The 8th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies, Suzhou China, 27-29 April (2016).
  2. T. Saito, Y. Takeo, H. Mimura, Wavefront measurement of vortex beam using ptychographic phase retrieval, 2016 Optics + Photonics, San Diego USA, 28 August – 1 September (2016).
  3. Y. Takei, H. Mimura, Development of a surface profiler for mandrel of ellipsoidal soft x-ray focusing mirror, 2016 Optics + Photonics, San Diego USA, 28 August – 1 September (2016).
  4. H. Motoyama, M. Nagayama, and H. Mimura, Development of an Ion Beam Sputter Deposition System for Producing Complex-Shaped X-ray Mirrors, 18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining (ISEM XVIII), Tokyo, Japan, 19-21 April (2016).
  5. T. Kume, S. Egawa, G. Yamaguchi, and H. Mimura, Influence of Residual Stress of Electrodeposited Layer on Shape Replication Accuracy in Ni Electroforming, 18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining (ISEM XVIII), Tokyo, Japan, 19-21 April (2016).
  6. H. Motoyama, T. Sato, A. Iwasaki, Y. Takeo, Y. Senba, H. Ohashi, K. Yamanouchi, and H. Mimura “Current status of the development of two-staged focusing system for soft X-ray lasers “ International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016), 18-20 May, 2016, Yokohama, Japan.
  7. S. Egawa, T. Kume, Y. Takei, Y. Takeo, H. Motoyama and H. Mimura, Current status of development of ultraprecise Wolter mirror for soft X-ray microscopy, International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016), 18-20 May, 2016, Yokohama, Japan.
  8. Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kisimoto, H. Ohashi and H. Mimura, “Evaluation of degree of spatial coherence at a soft X-ray beamline of SPring-8, “ International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016), 18-20 May, 2016, Yokohama, Japan.
  9. Y. Takeo, T. Saito and H. Mimura, “Wavefront measurement using ptychographic phase retrieval for evaluating figure and alignment errors of ellipsoidal mirror, ” International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016), 18-20 May, 2016, Yokohama, Japan.
  10. T. Kume, S. Egawa, Y. Takeo, and H. Mimura, Electroforming process specialized for fabrication of x-ray ellipsoidal mirror, International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016), 18-20 May, 2016, Yokohama, Japan.
  11. Y. Takei, T. Higashi and H. Mimura, Development of figure correction system for master mandrel of ellipsoidal x-ray mirror, International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016), 18-20 May, 2016, Yokohama, Japan.
  12. T. Kume, G. Yamaguchi, and H. Mimura, Development of Pulse Electrodeposition for Removal of Hydrogen Bubbles Adhering to Cathode, Electrochemistry 2016, Goslar, Germany, 26-28 September (2016)
  13. G. Yamaguchi, T. Kume, H. Mimura, Fundamental Study on Local Nano-processing by Potential Control in Acidic Solutions, The 16th International Conference on Precision Engineering, Hamamatsu, Shizuoka, Japan, 14-16 November (2016).

国内会議発表

  1. 齋藤貴宏，竹尾陽子，三村秀和，タイコグラフィ法による光渦ビーム波動場の精密計測，2016年度精密工学会秋季大会，茨城大学水戸キャンパス，2016年9月6日～8日，2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 419-420．
  2. 荻本浩人，三村秀和，2光束干渉を利用した軟Ｘ線ラミナー型自由間隔回折格子の開発－露光システムの設計，2016年度精密工学会秋季大会学術講演会，茨城大学，2016年9月20日～9月22日, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 273-274．
  3. 山口豪太，久米健大，三村秀和，常温Ni電鋳におけるパルス電析条件の検討，2016年度精密工学会秋季大会学術講演会，茨城大学，2016年9月6日～9月8日，2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 285-286．
  4. 武井良憲，松澤雄介，三村秀和，X線集光用回転楕円ミラーマンドレル作製プロセスの開発，2016年度精密工学会秋季大会学術講演会，茨城大学，2016年9月6日～9月8日, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 283-284．
  5. 東隆裕，三村秀和，純水の高速噴流を用いたナノ加工法の基礎的検討-溶存酸素の影響調査-，2016年度精密工学会秋季大会学術講演会，茨城大学，2016年9月6日～9月8日，2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 291-292．
  6. 山口豪太，久米健大，三村秀和，回転楕円ミラーの作製のための高精度電鋳法の開発，第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，9P020, 神戸芸術センター，神戸市，2017年1月7日～1月9日．
  7. 三村秀和，本山央人，竹尾陽子，武井良憲, 松澤雄介, 久米健大, 仙波泰徳，岸本輝, 大橋治彦, 回転楕円ミラーによる軟X線集光，第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，3Ｆ002，神戸芸術センター，神戸市，2017年1月7日～1月9日．
  8. 齋藤貴宏，竹尾陽子，江川悟，三村秀和，回転楕円ミラー評価のための高精度波面計測装置の開発，2017年度精密工学会春季大会，慶応義塾大学矢上キャンパス，2017年3月13日～15日, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 967-968.
  9. 松澤雄介，三村秀和，高分解能スティッチング干渉計測における高精度つなぎ合わせ角度決定法，2017年度精密工学会春季大会学術講演会，慶應義塾大学，2017年3月13日～3月15日, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 969-970.
  10. 本山央人，岩崎純史，佐藤堯洋，武井良憲，久米健大，江川悟，山内薫，三村秀和，回転楕円ミラーによる高次高調波集光システムの開発, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会，慶應義塾大学，2017年3月13日～3月15日, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 961-962.
  11. 西岡勇人，本山央人，三村秀和, ピンホール成膜による高分解能形状修正成膜法の開発, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会，慶應義塾大学，2017年3月13日～3月15日, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 971-972. 
  12. 山口豪太，久米健大，三村秀和，銅電析による高精度電鋳法の開発，2017年度精密工学会春季大会学術講演会，慶應義塾大学，2017年3月13日～3月15日, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 965-966.
  13. 久米健大，武井良憲，三村秀和，回転楕円ミラー用マンドレルの3次元高精度形状計測法の開発，2017年度精密工学会春季大会学術講演会，慶應義塾大学，2017年3月13日～3月15日, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 963-964.
  14. 三村秀和，高精度回転楕円ミラーによる軟X線ナノ集光，第76回ELIDセミナー，理化学研究所，和光キャンパス，2016年12月22日（依頼講演）
  15. 三村秀和，高精度X線ミラー製造のための超精密形状計測法，H28年度長さクラブ講演会，機械振興会館，2017年2月24日（依頼講演）.
  16. 三村秀和, 高精度ミラーを用いた軟X線のナノ集光，物性研究所短期研究会「新世代光源で切り拓く物質科学と生命科学の融合領域」，東京大学柏キャンパス，2017年3月8日（依頼講演）.
  17. 三村秀和，ナノ精度コピーによる超高精度ミラー作製，科学技術振興機構 新技術説明会，JST東京本部別館1Fホール，2017年3月16日（依頼講演）.

特許出願

  1. 久米健大，三村秀和，精密電鋳のための気泡除去方法，特願2016-113951.

2015年度（2015年4月1日～2016年3月31日.）

研究論文（査読あり）

  1. H. Motoyama and H. Mimura, Two-stage reflective optical system for achromatic 10 nm x-ray focusing, J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys. 48 244002 (2015).
  2. T. Kume, S. Egawa, and H. Mimura, Development of internal stress measurement technique for Ni electroforming using Shack-Hartmann sensor, International Journal of Electrical Machining, 21, 25-30(2016).

国際会議論文（査読あり）

  1. H. Mimura, Y. Takei, T. Saito, T. Kume, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Takeo, T. Higashi, Development of ellipsoidal focusing mirror for soft x-ray and extreme ultraviolet light, Proc. SPIE 9588, 95880L (2015).
  2. Y. Takeo, T. Saito, H. Mimura, Evaluation of surface figure error profile of ultra-precise ellipsoidal mirror for soft X-ray focusing, Proc. SPIE 9588, 95880A (2015).
  3. Y. Takeo, T. Saito, H. Mimura, Ptychographic phase retrieval method for characterizing ultra-precise ellipsoidal mirrors, Proc. SPIE 9633, 96332C (2015).

国際会議発表

  1. T. Kume, S. Egawa, and H. Mimura, Effect of Electrodeposition Conditions on Replication Accuracy of Electroforming, Proc. EUSPEN 15th International Conference, 61-62 (2015).
  2. H. Motoyama, T. Sato, A. Iwasaki, S. Egawa, K. Yamanouchi, and H. Mimura, High-order Harmonics Focusing with Ellipsoidal Mirror in Soft X-ray Region, International Workshop on X-Ray Optics and Metrology (IWXM2015), Berkeley, USA, 13-16 July (2015).
  3. H. Mimura, Y. Takei, T. Saito, T. Kume, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Takeo, T. Higashi, Development of ellipsoidal focusing mirror for soft x-ray and extreme ultraviolet light, 2015 Optics + Photonics, San Diego USA, 9-13 August (2015).
  4. Y. Takeo, T. Saito, H. Mimura, Evaluation of surface figure error profile of ultra-precise ellipsoidal mirror for soft X-ray focusing, 2015 Optics + Photonics, San Diego USA, 9-13 August (2015).
  5. Y. Takei and H. Mimura, Roundness correction processing with nanometer order accuracy., 12th ISMTII(12th International Symposium on Measurment Technology and Intelligent Instruments.), National Taiwan University, Taipei, Taiwan, 22-25 September, 2015., paper No. 1270.
  6. Y. Takeo, T. Saito, H. Mimura, Ptychographic phase retrieval method for characterizing ultra-precise ellipsoidal mirrors, SPIE Optifab 2015, Rochester USA, 12-15 October (2015).
  7. T. Saito, Y. Takeo, H. Mimura, Design and fabrication of X-ray mirror for producing vortex beam, 2015 OPTIFAB, Rochester USA, 12-15 October (2015).

国内会議発表

  1. 久米健大，江川悟，山口豪太，三村秀和，電析膜の内部応力測定と電鋳法の形状転写性能評価，2015年度精密工学会秋季大会，東北大学，2015年9月4日～9月6日，2015年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p.711-712．
  2. 本山央人，長山光，三村秀和，イオンビームスパッタ成膜法による回転楕円ミラーの内面形状修正装置の開発，2015年精密工学会秋季大会，東北大学，2015年9月4日～9月6日，2015年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p.721-722.
  3. 長山光，本山央人，三村秀和，ピンホールマスクを用いた高分解能形状修正成膜手法の開発修正装置の開発，2015年精密工学会秋季大会，東北大学，2015年9月4日～9月6日，2015年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 723-724.
  4. 江川悟，久米健大，竹尾陽子，斎藤貴宏，武井良憲，三村秀和，軟X線結像用ウォルターミラーの作製と形状精度の評価，2015年度精密工学会秋，東北大学，2015年9月4日～9月6日，2015年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 707-708.
  5. 武井良憲，東隆裕，三村秀和, 回転楕円ミラー用マンドレルの形状計測装置の開発とその形状修正加工，2015年度精密工学会秋季大会，東北大学，2015年9月4日～6日，2015年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 709-710.
  6. 本山央人，佐藤尭洋，岩崎純史，江川悟，山内薫，三村秀和，回転楕円ミラーによる軟X線集光システムの開発，日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2015，筑波大学，2015年10月28日～10月30日.
  7. 江川悟，久米健大，武井良憲，竹尾陽子，斎藤貴宏，三村秀和，軟X線結像用ウォルターミラーの形状評価と結像性能の予測，2015年日本光学会年次学術講演会，筑波大学東京キャンパス文京校舎，2015年10月28日～10月30日.
  8. 竹尾陽子，齋藤貴宏，三村秀和，タイコグラフィ位相回復法による集光波面計測の高精度化，日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2015，筑波大学東京キャンパス文京校舎，2015年10月28日～10月30日.
  9. 齋藤貴宏，竹尾陽子，三村秀和，タイコグラフィ位相回復法による光渦ビームの波面計測法の開発，日本光学会年次学術講演会　Optics ＆　Photonics Japan 2015，筑波大学東京キャンパス文京校舎，2015年10月28日～10月30日.
  10. 本山央人，佐藤尭洋，岩崎純史，江川悟，山内薫，三村秀和，回転楕円ミラーによる高次高調波集光システムの開発と自由電子レーザへの展開，第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，東京大学，柏市，2016年1月9日～1月11日，3D003.
  11. 長山光，本山央人，三村秀和，複雑な形状を有するＸ線ミラー作製のための高分解能形状修正成膜法の開発，第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，東京大学，柏市，2016年1月9日～1月11日，11P008.
  12. 江川悟，竹尾陽子，本山央人，久米健大，武井良憲，三村秀和，軟X線結像のためのウォルターミラーの開発，第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，三井ガーデンホテル柏の葉，2016年1月9日～1月11日.
  13. 武井良憲，久米健大，竹尾陽子，三村秀和，高精度マンドレル作製と高精度形状転写による軟 X 線回転楕円ミラーの作製，第29回日本放射光学会年会・放射光科学シンポジウム，東京大学，柏市，2016年1月9日～1月11日，10P019.
  14. 竹尾陽子，本山央人，仙波泰徳，岸本 輝，大橋治彦，三村秀和，フレネルミラー光学系による軟X線ビームの空間コヒーレンス評価，第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，東京大学柏の葉キャンパス，2015年1月9日～1月11日，10P024．
  15. 東隆裕，三村秀和，キャビテーション墳流を用いたナノ加工法の基礎的検討-各種加工材料を用いた化学反応性調査-，2016年度精密工学会春季大会，東京理科大学野田キャンパス，2016年3月15日～3月17日，2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集，pp. 923-924.
  16. 長山光，本山央人，三村秀和，ピンホールマスクを用いた高分解能形状 修正成膜法の開発　 第 2 報-数値制御システムによる任意形状創成-，2016年精密工学会春季大会，東京理科大学，2015年3月15日～3月17日,2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集，pp. 919-920.
  17. 竹尾陽子，齋藤貴宏，三村秀和，位相回復法を用いた転楕円ミラーの形状計測高精度化，2016年度精密工学会春季大会，東京理科大学 野田キャンパス，2016年3月15日～3月17日，2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集p.917-p.918.
  18. 山口豪太，久米健大，三村秀和，電気化学的ナノ加工法の基礎的検討 -デュアルポテンショスタットによる両極反応制御-，2016年度精密工学会春季大会学術講演会，東京理科大学，2016年3月15日～3月17日，2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.921-922.
  19. 三村秀和，軟X線用回転体集光ミラー開発の現状と今後の展開，X線ナノ集光技術研究会2015，東京大学，2015年10月31日（依頼講演）.
  20. 三村秀和，極限集光光学システムによる超高強度X線パルスの実現，レーザー学会学術講演会第３６回年次大会，名城大学，2016年1月9日～1月11日（招待講演）.
  21. 三村秀和，放射光ナノビーム開発の現状と展望，東北放射光施設（SLiT-J）利用分野調査検討ワークショップ，東北大学，2016年1月19日（依頼講演）.

特許出願

  1. 竹尾陽子，三村秀和，高NA集光素子の出口波面計測方法及び出口波面計測システム，特願2015-158575.

2014年度（2014年4月1日～2015年3月31日）

研究論文（査読あり）

  1. H. Mimura,　H. Yumoto, S. Matsuyama, T. Koyama,　K. Tono, Y. Inubushi, T. Togashi, T. Sato, J. Kim, R. Fukui, Y. Sano, M. Yabashi, H. Ohashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi, Generation of 1020 Wcm-2 hard X-ray laser pulses with two stage reflective focusing system, Nature communications 5 3539, doi:10.1038/ncomms4539 (2014).
  2. M. Yabashi, K. Tono, H. Mimura, S. Matsuyama, K. Yamauchi, T. Tanaka, H.　Tanaka, K. Tamasaku, H. Ohashi, S. Goto and T. Ishikawa，Optics for coherent X-ray applications，Jounal of Synchrotron Radiation., 21, 976-985 (2014)．
  3. 久米健大，三村秀和，電鋳法によるナノ精度形状転写プロセスの開発 -常温ニッケル電析条件の検討とマンドレルの高精度転写-，精密工学会誌，80(6), 582-586(2014)．
  4. S. Egawa, T. Kume, and H. Mimura, In Situ Observation of Bubble Traces in Nickel Electrodeposition, International Journal of Electrical Machining, 20, p.25-p.30 (2015).

国際会議論文（査読あり）

  1. S. Egawa and H. Mimura, Toward Achromatic Soft x-ray Imaging System with Sub-10-nm Spatial Resolution, Proc. SPIE, 9207, 92070R (2014).

国際会議発表

  1. T. Kume, Y. Takei, T. Saito, H. Motoyama, S. Egawa, H. Mimura, Fabrication of Soft X-ray Ellipsoidal Focusing Mirror by Highly Accurate Electroforming Process, ICPE2014 (The 15th International Conference on Precision Engineering), Kanazawa, Japan, 22-25 July (2014).
  2. S. Egawa and H. Mimura, Toward Achromatic Soft x-ray Imaging System with Sub-10-nm Spatial Resolution, 2014 Optics + Photonics, San Diego USA, 17-21 August (2014).
  3. T. Saito, Y. Takeo, T. Kume, H. Motoyama, H. Mimura, A ptychographic phase retrieval method for measuring figure error profile of soft x-ray focusing mirror, 2014 Optics + Photonics, San Diego USA, 17-21 August (2014).
  4. Y. Takei, R. Jourdain, P. Morantz and P. Shore. “Investigation of large optics measurement system with 1 nm repeatability.” Structured & Freeform Surfaces Meeting, Padova, Italy, 19 – 20 November (2014).
  5. H. Mimura, Advanced Manufacturing of Novel Focusing Optics for X-ray lasers, the Classical Optics Congress, Hawaii, 2014年6月24日 (Invited).

国内会議発表

  1. 竹尾陽子，斎藤貴宏，久米健大，本山央人，三村秀和，位相回復法による回転楕円ミラーの形状計測における測定精度の評価，2014年度精密工学会秋季大会，鳥取大学，2014年9月16日～9月18日，2014年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集p.273-p.274．
  2. 東隆裕，武井良憲，三村秀和，複数の1 nm分解能レーザプローブを用いたX線ミラー用計測装置の開発，2014年精密工学会秋季大会，鳥取大学，2014年9月16日～18日，2014年精密工学会秋季大会学術講演論文集，pp. 271‐272
  3. 竹尾陽子，斎藤貴宏，久米健大，本山央人，三村秀和，タイコグラフィー位相回復法による高精度波面計測の開発と軟X線集光ミラーの評価，日本光学会年次学術講演会　Optics & Photonics Japan 2014，筑波大学東京キャンパス文京校舎，2014年11月5日～11月7日，講演予稿集6pD1．
  4. 江川悟，久米健大，三村秀和，電鋳プロセスにおけるシャクハルトマン型波面センサを用いたin-situ応力測定と電析条件の制御，電気加工学会全国大会（２０１４），新潟大学ライブラリーホール，名古屋市，2014年12月4日～12月5日，電気加工学会全国大会（２０１４）講演論文集 p.91-p.92.
  5. 本山央人，佐藤尭洋，岩崎純史，江川悟，山内薫，三村秀和，回転楕円ミラーによる高次高調波軟X線集光，第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，立命館大学，草津市，2015年1月10日～1月12日，12P040.
  6. 江川悟，本山央人，三村秀和，ウォルターミラーを用いた軟X 線結像光学システムの理論的検証，第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，立命館大学びわこ・くさつキャンパス，2015年1月10日～12日，12P043.
  7. 竹尾陽子，斎藤貴宏，久米健大，本山央人，三村秀和，軟X線集光ミラーの形状誤差・アライメント誤差オフライン評価法の開発，第28回　日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，立命館大学，2015年1月11日～1月12日，シンポジウム予稿集　12P042．
  8. 本山央人，佐藤尭洋，岩崎純史，江川悟，山内薫，三村秀和，回転楕円ミラーによる高次高調波軟X線の集光特性評価，2015年精密工学会春季大会，東洋大学，2015年3月17日～3月19日，2015年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.1053-p.1054.
  9. 久米健大，江川悟，三村秀和，高精度電鋳法の開発における電気化学的アプローチによる電析条件の検討，2015年精密工学会春季大会，東洋大学，2015年3月17日～3月19日，2015年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.1063-1064.
  10. 竹尾陽子，本山央人，仙波泰徳，大橋治彦，三村秀和，回転体ミラーとリング集光ミラーを用いた2段集光システムのSPring-8軟X線ビームライン導入に向けた光学シミュレーション，2015年度　精密工学会春季大会，東洋大学，2015年3月17日～3月19日，2015年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集p.1051-p.1052．
  11. 東隆裕，武井良憲，齋藤貴宏，久米健大，三村秀和，複数の1 nm分解能レーザプローブを用いたX線ミラー形状計測装置の開発（第2報） ‐計測精度の向上と評価‐，2015年精密工学会春季大会，東海大学，2015年3月17日～19日，2015年精密工学会春季大会学術講演論文集，pp. 1059‐1060.
  12. 武井良憲，Jourdain Renaud，Morantz Paul，Shore Paul：再現性１nm の大型光学素子計測システム，2015年度精密工学会春季大会，東洋大学，文京区，2015年3月17日～19日，C39．
  13. 齋藤貴宏，竹尾陽子，三村秀和，タイコグラフィー位相回復法による光渦の波面計測，2015年 <第62回 >応用物理学会春季学術講演会，東海大学，2015年3月11日～3月14日，2015年 <第62回 >応用物理学会春季学術講演会[講演予稿集] 14a-A12-9.
  14. 三村秀和，斎藤貴宏，竹尾陽子，久米健大，本山央人，回転楕円軟X線集光ミラーの形状アライメント誤差計測のためのタイコグラフィー波面センシング，光計測シンポジウム，機械振興会館，2014年11月14日（依頼講演）.
  15. 三村秀和，超高精度ミラーによるEUV・X線レーザの高効率微小集光, 理研セミナー，理化学研究所（和光），2015年3月2日（依頼講演）.
  16. 三村秀和，X線レーザーのためのナノ集光技術と将来展望，日本放射光学会第六回若手研究会研究会「コヒーレントX線が拓く構造可視化の新しい世界」, SPring-8, 2014年8月22日，23日（依頼講演）.

2013年度（2013年4月1日～2014年3月31日）

研究論文（査読あり）

  1. Y. Takei and H. Mimura, Effect of focusing flow on stationary spot machining properties in elastic emission machining, Nanoscale Research Letter, 16, 8(1) 237 (2013).
  2. Y. Takei and H. Mimura, 100μm-Size Stationary Spot Machining in Elastic Emission Machining., Int. J. Nanomanufacturing, 10 (3), 244 – 253 (2014).
  3. H. Motoyama, T. Saito, and H. Mimura, Error Analysis of Ellipsoidal Mirror for Soft X-ray Focusing by Wave-Optical Simulation, Jpn. J. Appl. Phys. 53 (2014) 022503.

国際会議論文（査読あり）

  1. H. Motoyama, T. Saito, H. Mimura, Optical design of soft x-ray focusing system with ellipsoidal mirror for laboratory-based sources, Proc. SPIE, 8848, 88480E. 2013. 2. Y. Takei, T. Kume, H. Motoyama, K. Hiraguri, H. Hashizume, H. Mimura, Development of numerically controlled elastic emission machining system for fabricating mandrels of ellipsoidal focusing mirrors used in soft x-ray microscopy, Proc. SPIE, 8848, 88480C. (2013).

国際会議発表

  1. H. Motoyama and H. Mimura, Optical Design of Two-step Soft X-ray Focusing System with Rotationally Symmetric Mirrors, 2013 Optics + Photonics, San Diego, USA 25-29 August (2013).
  2. Y. Takei, T. Kume and H. Mimura, Fabrication of Ellipsoidal Focusing Mirrors for Soft X-ray Microscopy using Elastic Emission Machining and Electroforming, 2013 Optics + Photonics, San Diego, USA 25-29 August (2013).
  3. T. Kume, Y. Takei, H. Mimura, Development of Nanometer-Level Accurate Surface Replication Process for Producing X-ray Ellipsoidal Focusing Mirror, ASPEN2013 (5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology), Taipei, Taiwan, 12-15 November (2013).
  4. S. Egawa, T. Kume and H. Mimura, Electrodeposition Conditions in Ni Electroforming for Fabrication of Soft X-ray Ellipsoidal Focusing Mirrors, the 12th Symposium on X-ray Imaging Optics, Osaka, Japan, 18-20, November (2013). (Poster)
  5. Y. Takei, T.Saito, T.Kume, T.Hirata, H. Mimura: “Development of manufacturing process for soft X-ray ellipsoidal mirrors. “, The 12th symposium on X-ray Imaging Optics , P26, Oosaka(Japan), November (2013).
  6. H. Mimura, Development of ellipsoidal mirror for focusing soft X-ray , the 12th Symposium on X-ray Imaging Optics, Osaka, Japan, 18-20, November (2013). (Invited)

国内会議発表

  1. 本山央人，斎藤貴宏，三村秀和，回転体ミラーを用いた二段X線集光システムの集光特性，2013年精密工学会秋季大会，関西大学，2013年9月12日～9月14日，2013年度精密工学会秋季大会学術講演論文集p.665-p.666.
  2. 久米健大，武井良憲，三村秀和，高精度電鋳法による回転楕円軟X線集光ミラーの作製，2013年精密工学会秋季大会，関西大学，2013年9月12日～9月14日，2013年度精密工学会秋季大会学術講演論文集p.667-668.
  3. 本山央人，三村秀和，回転体ミラーを用いた2段集光光学系によるX線ナノビーム形成法，第12回X線結像光学シンポジウムサテライトミーティングX線ナノ集光技術研究会「多次元イメージングへの展開」，大阪大学中之島センター，2013年11月17日（招待講演） 久米健大，江川悟，三村秀和，高精度電鋳プロセスにおける周期的減圧電析の形状転写性能への効果，電気加工学会全国大会2013，愛知県産業労働センター，名古屋市，2013年12月5日～12月6日，電気加工学会全国大会（2013）講演論文集p.125-p.126.
  4. 江川悟，久米健大，三村秀和，高精度電鋳プロセスにおける電析現象のin-situ観察，電気加工学会全国大会（2013，愛知県産業労働センダー，2013年12月5日～12月6日，電気加工学会全国大会（2013）講演論文集p.1-p.2.
  5. 久米健大，江川悟，三村秀和，回転楕円軟Ｘ線集光ミラー作製のための常温電析プロセスを用いた電鋳法の高精度化，第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，広島国際会議場 広島市，2014年1月11日～1月13日，11P012.
  6. 齋藤貴宏，久米健大，本山央人，三村秀和，位相回復による回転楕円軟X線ミラーの形状計測における高精度化，第27回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，広島国際会議場，広島，2014年1月11日～1月13日，11P011.
  7. 久米健大，江川悟，武井良憲，齋藤貴宏，三村秀和，高精度電鋳法による回転楕円軟X線集光ミラーの作製（第2報）－集光ミラーの試作と転写性能の評価－，2014年精密工学会春季大会，東京大学，2014年3月18日～3月20日，2014年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.1275-p.1276.
  8. 江川悟，久米健大，三村秀和，シャクハルトマンセンサを利用したたわみ測定による電鋳プロセスの高精度化，2014年精密工学会春季大会，東京大学，2014年3月18日～3月20日，2014年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.1273-p.1274.
  9. 齋藤貴宏，久米健大，三村秀和，位相回復法を用いた回転楕円ミラーの形状計測，2014年精密工学会春季大会，東京大学，東京，2014年3月18日～3月20日，2014年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.1277-p.1278.
  10. 武井 良憲, 久米 健大, 本山 央人, 三村 秀和： ” 軟X線回転楕円ミラー用マンドレルのための形状修正加工システムの開発. “， 2014年精密工学会春季大会， R34, 東京大学（東京）， 2014年3月．
  11. 三村秀和，ナノ精度表面製造プロセスの構築とX線光学素子への展開，砥粒加工学会，第49回次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会，東京大学，2013年6月19日.（依頼講演）.
  12. 三村秀和，超高精度X線ミラーの開発とその応用，電子情報技術産業協会(JEITA)半導体技術ロードマップ委員会計測部会，JEITA(大手センタービル），2013年9月6日. (依頼講演）.

特許出願

  1. 武井良憲, 三村秀和, 集流型ノズルを用いたＥＥＭ加工方法及びその装置，特願2013-105930
  2. 本山央人, 三村秀和, 回転体ミラーを用いたX線集光システムの光学設計及びX線集光システム，特願2013-147116.

2012年度（2012年4月1日～2013年3月31日）

研究論文（査読あり）

  1. H. Yumoto, H. Mimura, T. Koyama, S. Matsuyama, K. Tono, T. Togashi, Y. Inubushi, T. Sato, T. Tanaka, T. Kimura, H. Yokoyama, J. Kim, Y. Sano, Y. Hachisu, M. Yabashi, H. Ohashi, H. Ohmori, T. Ishikawa, K. Yamauchi, Focusing of X-ray free electron laser pulses with reflecticve optics, Nature Photonics 7, 43-47 (2013).

解説記事

  1. 三村秀和，湯本博勝，小山貴久，大橋治彦，石川哲也，山内和人，SACLAにおける1μｍコヒーレント集光装置の開発，日本放射光学会誌，Vol.25, No.2, (2012).

国際会議論文（査読あり）

  1. T. Saito, Y. Yoshinori, H. Mimura, Development of Surface Profile Measurement Method for Ellisoidal X-ray Mirror using Phase retrieval, Proc. SPIE, 8501, 850103.
  2. H.Mimura, H. Ohmori, K. Yamauchi, Development of Focusing system for X-ray Free Electron Laser, Key Engineering Materials, 516, 251-256, 2012. (Proceedings of Presicion Engineering and Nanotechnology).

国際会議発表

  1. T. Saito, H. Mimura, Feasibility study for measuring figure error profile of ellipsoidal mirror using phase retrieval with ptychography, 5th International Symposiumu on Atomically Controlled Fabrication Technology, Osaka, Japan, 22-24 October (2012).
  2. Y. Takei, H. Mimura, Control of Shape of Stationary Spot Profile in Nozzle-type Elastic Emission Machining, 5th International Symposiumu on Atomically Controlled Fabrication Technology, Osaka, Japan, 22-24 October (2012).
  3. T. Saito, Y. Takei, H. Mimura , Development of Surface Profile Measurement Method for Spheroidal X-ray Mirror usin phase retrieval, 2012 Optics + Photonics, San Diego, USA, 12-16 August (2012).
  4. Y. Takei, H. Mimura , Improvement of Spatial Resolution of Figuring in Elastic Emission Machining, nanoMan2012 (The International State-of-the-art in nano Manufacturing), Wako, Japan, 25-27 July (2012).

国内会議発表

  1. 久米健大，武井良憲，三村秀和，回転体X線ミラーのための高精度電鋳プロセスの開発，2013年精密工学会春季大会，東京工業大学，2013年3月13日～3月15日，2013年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.199-p.200.
  2. 斎藤貴宏，本山央人，三村秀和，回転楕円X線集光ミラーのための位相回復による波面計測法の開発，2013年精密工学会春季大会，東京工業大学，2013年3月13日～3月15日，2013年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.197-p.198.
  3. 本山央人，斎藤貴宏，三村秀和，大開口・回転体ミラーによる軟X線集光システムの光学設計，2013年精密工学会春季大会，東京工業大学，2013年3月13日～3月15日，2013年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.195-p.196.
  4. 武井良憲，久米健大，三村秀和，回転楕円X線集光ミラー用高精度マンドレル作製プロセスの開発，第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，名古屋大学，名古屋市，2013年1月12日～1月14日，14P016.
  5. 久米健大，武井良憲，三村秀和，高精度電鋳法による回転楕円X線集光ミラーの作製，第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，名古屋大学，名古屋市，2013年1月12日～1月14日，14P015.
  6. 斎藤貴宏，本山央人，三村秀和，回転楕円X線集光ミラーの形状計測法の開発，第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，名古屋大学，名古屋市，2013年1月12日～1月14日，14P014.
  7. 本山央人，斎藤貴宏，三村秀和，回転楕円ミラーを用いたX線集光システムの光学設計，第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，名古屋大学，名古屋市，2013年1月12日～1月14日，14P013.
  8. 久米健大，三村秀和，常温・低電流電鋳法によるナノ精度表面転写プロセスの開発，2012年精密工学会秋季大会，九州工業大学，北九州市，2012年9月13日～9月17日.
  9. 本山央人，斎藤貴宏，三村秀和，回転楕円軟X線集光ミラーにおける形状誤差とアライメント誤差の集光特性への影響，2012年精密工学会秋季大会，九州工業大学，北九州市，2012年9月13日～9月17日，2012年度精密工学会秋季大会学術講演論文集p.413-p414.
  10. 武井良憲，三村秀和，ノズル型EEM（Elastic Emission Machining)における100um微小スポット加工の加工特性，2012年精密工学会秋季大会，九州工業大学，北九州市，2012年9月13日～9月17日，2012年度精密工学会秋季大会学術講演論文集p.413-p414.
  11. 三村秀和，ナノ精度表面製造プロセスの構築とX線ミラーへの展開，第63回ELID研削研究会，2012年7月27日 （依頼講演）.
  12. 三村秀和，スティッチング干渉計および位相回復法によるX線集光ミラーの超精密形状計測，オプトメカトロニクス協会，光部品生産技術部会，2012年5月28日 （依頼講演）.
  13. 三村秀和，ナノ精度表面製造プロセスの構築と次世代X線ミラーの開発，静岡大学「第27回GRL浜松セミナ－」 静岡大学，浜松市，2012年5月14日 （依頼講演）.

2011年度（2011年4月1日～2012年3月31日）

研究論文（査読あり）

  1. H. Mimura, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Yamauchi, Surface replication with one-nanometer-level smoothness by a nickel electroforming process, International Journal of Electrical Machining, 16, 21-25 (2011).
  2. H. Mimura, H. Ishikura, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Yamauchi, Electroforming for replicating nanometer-level smooth surface, Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 11 , 2886-2889 (2011).
  3. H. Mimura, T. Kimura, H. Yumoto, H. Yokoyama, H. Nakamori , S. Matsuyama, K. Tamasaku, Y. Nishino, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi a, One dimensionalsub 10-nm hard X-ray focusing using laterally graded multilayer mirror, Nuclear Instruments and Methods in Physics Reserch A , 635, (1) , 16-18 (2011).

国際会議発表

  1. H. Mimura, H. Ohmori, K. Yamauchi, Development of Focusing System for X-ray Free Electron Laser, ASPEN2011 (4th International Conference of Asian Society for Precision Engneering and Nanotechnology), Hong Kong, China, 16-18 Nomvember (2011).(Best Paper Award)
  2. H. Mimura, Micro- and Nano- Focusing System for Japanese XFEL, SPIE Optics and Photonics Annual Conferense (SPIE 2011), SanDiego, USA, 11th August (2011). (Invited)

国内会議発表

  1. 齋藤貴宏，三村 秀和，位相回復法による回転体型軟Ｘ線集光ミラーの形状計測 -光学設計と理論的検討-，2012年度精密工学会春季大会，首都大学東京南大沢キャンパス，八王子市，2012年，3月14日～3月16日，2012年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.1157-p1158.
  2. 武井良憲，三村秀和，ノズル型EEM(Elastic Emission Machining)における加工特性の向上，2011年度精密工学会春季学術講演会首都大学東京南大沢キャンパス，八王子市，2012年 3月14日～16日，2012年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.1159-p1160.
  3. 三村秀和，超高精度X線ミラーの開発と硬X線ナノビーム形成，財団法人 光産業技術振興協会，平成23年度多元技術融合光プロセス研究会第5回研究プログラム「最先端計測・モニタリング技術の現状と将来展望」，産業技術総合研究所 臨海副都心センター別館，2012年，2月16日 (依頼公演）.
  4. 武井良憲，斎藤貴宏，大森整, 三村秀和，回転体型軟X線集光用高精度マンドレルの作製，第25回日本放射光学会年会，放射光科学シンポジウム，鳥栖市民文化会館，鳥栖市，2012年，1月6日～1月9日.
  5. 斎藤貴宏，武井良憲，J. R. Fienup, 三村秀和，回転楕円体型軟X線ミラーの光学設計と形状計測法の開発，第25回日本放射光学会年会，放射光科学シンポジウム，鳥栖市民文化会館，鳥栖市，2012年，1月6日～1月9日.

受賞

三村秀和（教授）

  1. ASPEN2011 (4th International Conference of Asian Society for Precision Engneering and Nanotechnology) Best Paper Award

    2011年

  2. 東京大学工学系研究科　平成28年度　研究科長表彰（研究部門）

    2017年11月

  3. 日本放射光学会　令和４年度　高良・佐々木賞

    2023年1月

本山央人（特任講師）

  1. 電気加工学会　令和5年度　全国大会賞

    2023年12月

指導学生の受賞

  1. 本山央人

    東京大学 工学部長賞（学修）

    2013年3月

  2. 武井良憲

    日本機械学会 三浦賞

    2014年3月

  3. 竹尾陽子

    東京大学 工学部長賞（学修）

    2015年3月

  4. 竹尾陽子

    日本機会学会 畠山賞

    2015年3月

  5. 本山央人

    日本設計工学会 武藤栄治賞優秀学生賞

    2015年3月

  6. 竹尾陽子

    日本光学会年会 優秀講演賞

    2015年9月

  7. 江川悟

    日本設計工学会 武藤栄治賞優秀学生賞

    2016年3月

  8. 武井良憲

    精密工学会春季大会 ベストプレゼンテーション賞

    2016年3月

  9. 本山央人

    精密工学会秋季大会 ベストプレゼンテーション賞

    2016年9月

  10. 竹尾陽子

    日本設計工学会 武藤栄治賞優秀学生賞

    2017年3月

  11. 島村勇徳

    精密工学会秋季大会 ベストプレゼンテーション賞

    2017年9月

  12. 島村勇徳

    東京大学 工学部長賞（最優秀）(学修）

    2018年3月

  13. 鎌田悠

    日本設計工学会 武藤栄治賞優秀学生賞

    2019年3月

  14. 松澤雄介

    精密工学会春季大会 ベストプレゼンテーション賞

    2019年3月

  15. 横前俊也

    東京大学 修士論文優秀賞

    2019年3月

  16. 竹尾陽子

    精密工学会秋季大会 ベストプレゼンテーション賞

    2019年9月

  17. 横前俊也

    精密工学会秋季大会 ベストプレゼンテーション賞

    2019年9月

  18. 郭建麗

    東京大学 修士論文優秀賞

    2019年9月

  19. 島村勇徳

    東京大学 工学系研究科長賞(修士）

    2020年3月

  20. 江川悟

    東京大学 工学系研究科長賞（博士）

    2020年3月

  21. 島村勇徳

    日本放射光学会 学生発表賞

    2021年1月

  22. 山口豪太

    日本放射光学会 学生発表賞

    2021年1月

  23. 伊藤旺成

    精密工学会春季大会 ベストプレゼンテーション賞

    2021年3月

  24. 島村勇徳

    精密工学会春季大会 アドバンスト・ベストプレゼンテーション賞

    2021年9月

  25. 郭建麗

    精密工学会春季大会 ベストプレゼンテーション賞

    2021年9月

  26. 松本豊

    東京大学 修士論文優秀賞

    2022年3月

  27. 伊藤旺成

    東京大学 修士論文優秀賞

    2023年3月

  28. 島村勇徳

    東京大学 工学系研究科長賞(博士）

    2024年3月

  29. 伊藤駿佑

    東京大学 修士論文優秀賞

    2024年3月

  30. 川島涼輔

    SICE優秀学生賞

    2024年3月

  31. 山本祥大

    精密工学会春季大会 ベストプレゼンテーション賞

    2024年3月

  32. 細野朝子

    東京大学 精密工学科卒業論文賞

    2025年3月

  33. 細野朝子

    精密工学会春季大会 企業賞（ミクロン精密株式会社）

    2025年3月

  34. 毛利柊太郎

    精密工学会春季大会 ベストプレゼンテーション賞

    2025年3月

  35. 廣川敦也

    精密工学会春季大会 ベストプレゼンテーション賞

    2025年3月